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压电陶瓷微位移驱动器建模与控制-光学精密工程.pdfVIP

压电陶瓷微位移驱动器建模与控制-光学精密工程.pdf

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    第卷第期光学精密工程年月文章编号压电陶瓷微位移驱动器建模与控制刘泊郭建英孙永全哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院黑龙江哈尔滨摘要考虑利用白光干涉仪进行表面三维形貌测量时压电陶瓷的蠕变效应对微位移驱动器位移精度的影响提出了一种沿参考镜光轴方向提高该驱动器位移精度的方法系统研究了该驱动器的位移检测回路闭环控制以及蠕变补偿控制利用光电位置传感器和光学杠杆调节位移检测回路将压电陶瓷驱动器微位移反馈至控制系统建立闭环控制充分考虑了蠕变特性对测量过程的影响建立了电压蠕变补偿模型实现了基于闭环控制与蠕变补偿

    第 卷 第 期 光学 精密工程 ２１ ６ 　 Ｖｏｌ．２１ Ｎｏ．６ 　 　 　　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥ

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