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第卷第期光学精密工程年月文章编号深紫外倍频用晶体光栅耦合器设计谭鑫张嘉航巴音贺希格中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春中国科学技术大学安徽合肥摘要分析了氟硼铍酸钾晶体的倍频特性结合基波光光栅耦合和晶体内全反射特性设计了新型晶体光栅耦合器介绍了晶体光栅耦合器设计原理在晶体表面制作光栅结构使其衍射级次满足匹配角进而产生倍频光结合在晶体内的全反射传输增大光程获得高的倍频转化效率通过计算晶体匹配角走离角倍频系数等参数获得合适的光栅匹配类型优化设计匹配光栅参数获得了槽型参数及较高的衍射效率基于光
第 卷 第 期 光学精密工程
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