AlAlN多层膜的摩擦磨损性能研究.PDFVIP

第 27 卷 　第 3 期 摩 擦 学 学 报 Vo l 27, 　No 3 2007 年 5月 TR IBOLO GY M ay, 2007 A l/A lN 多层膜的摩擦磨损性能研究 1 1, 2 1 1 1 1, 3 张广安 , 吴志国 , 王明旭 , 范晓彦 , 王 君 , 闫鹏勋 ( 1. 兰州大学 等离子体与金属材料研究所 , 甘肃 兰州 　730000; 2. 兰州理工大学 甘肃省省部共建有色金属新材料国家重点实验室 , 甘肃 兰州 　730050; 3. 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室 , 甘肃 兰州 　730000) 摘要 : 采用柱状靶磁控溅射系统制备 A