7LED生产环境要求及防静电.pptVIP

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7LED生产环境要求及防静电

LED的封装、检测与应用 ?LED生产环境要求及防静电 ?LED生产环境要求及防静电 一、空气要求 LED生产环境要求及防静电 洁净度等级表 ?LED生产环境要求及防静电 二、温湿度要求 ?LED生产环境要求及防静电 ?LED生产环境要求及防静电 ?LED生产环境要求及防静电 ?LED生产环境要求及防静电 ?LED生产环境要求及防静电 ?LED生产环境要求及防静电 防静电措施 ?LED生产环境要求及防静电 ?LED生产环境要求及防静电 人员与工作过程防静电 ?LED生产环境要求及防静电 静电对电子产品损害的特点 1.空气洁净度和级别 ??? 空气洁净度:洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度。 空气洁净度等级:按空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度等级,即以每立方米空气中的最大允许粒子数来确定。 2.我国的洁净室的标准 ??? 我们国家洁净室的标准是《洁净厂房设计规范》(GB50073-2001),标准中规定的空气洁净度等级等同采用国际标准ISO1466-1中的有关规定。 ≤ 25000 ( 25 ) ≤ 35 × 100000 ( 3500 ) 100000 级 ≤ 2500 ( 2.5 ) ≤ 35 × 10000 ( 350 ) 10000 级 ≤ 250 ( 0.25 ) ≤ 35 × 1000 ( 35 ) 1000 级 ≤ 35 × 100 ( 3.5 ) 100 级 每立方米空气中≥ 5 微米尘粒数 每立方米空气中≥ 0.5 微米尘粒数 等级 制作LED的生产环境要有一万级到十万级的净化车间,并且温度和湿度都可调控的。 温度控制在25±5℃,湿度控制在50±10%左右即可, 三、防静电要求 1、什么是静电(ES,electrostatic) 由于电荷和电场的存在而产生的一切现象。静电并非静止不动的电,而是缓慢移动的电荷。 静电有以下几种现象: 静电力学现象:静电引力、静电排斥力 静电感应现象:静电噪音,机器损耗,继电器与电子元件误工作,自控失灵,电路不良,必须加以静电屏蔽。 静电放电现象(ESD):Elactro? sratic? discharge ,静电荷在不同静电势的两个物体上快速转移的现象。放电的速度取决于材料的电阻:电阻越大,放电速度越慢。 2、 静电的产生 物质的基本组成是分子、原子;尽管原子的种类不同,但是它总含有带正电的原子核与外壳层带负电的电子,正常情况下正负电荷总量相等,呈现电中性。当物体处在不同的外界环境下或受到外来因素的作用时(如加热、光照、冲击、摩擦、电磁场),外壳层电子状态、电荷电量、电子运动轨道、所处能级将发生改变,从而引起相应的放电现象。 任何物体上的静电,主要都是由于摩擦或感应两个过程产生的,这是一种普通的物理过程,尤其是干燥环境下的气体或者高纯水高速流动过物体表面,都会使之带上电荷。 静电产生不仅取决于材质内部的分子、原子结构,而且在相当程度上与外界因素有关。静电易发生在非导体表面 。 物体摩擦带电情况 人在室内做出动作时所带的静电 6kV 芯片托盘 2kV 喷射清洗液的高压纯水 3~5kV,高时可达10kV 非接地操作人员 2kV 硅片间的隔纸 8~12kV 聚四氟乙烯支架 30kV 人和服装 500~2000V,最高可达5kV 工作台面 500~700V 风口、扩散间铝孔板的送风口 500~1500V 扩散、洗手间的塑料墙纸 0~1500V 清洗间的瓷质地面 0~1000V 塑料顶棚为 700V 扩散间的塑料墙地面 500~1000V 光刻车间塑料板地面 静电电位 静电来源 生产环境中的静电 3、影响静电高低的因素: 物体的表面条件(光滑的表面产生较多的电荷) 材料有关(绝缘材料最容易起静电) 相对湿度(湿度大的空气:带电量很少;干燥的空气:带电量比湿度大的空气高50倍左右) 摩擦的程度(强烈的摩擦会增大带电量) 材料之间分离的速度(速度越快,带电量越高) 受摩擦或分离的面积(较大的表面积产生较多的电荷) 带电电位与体电阻率 体电阻处于1011~1014Ω·cm的绝缘体最易摩擦起电;体电阻1010Ω·cm的材料含杂质多,导电性较好,产生静电可以很快消失。 硅、碳化硅、蓝宝石的物理特性 工作区场地防静电 1、地面材料: 应该选用由静电导体材料构成的地面,车间地面应采用含碳塑料、含碳橡胶或导电乙烯做成,电阻率η105Ω·cm或用静电耗散性材料,电阻率就105Ω·cm~109Ω·cm之间。如防静电活动地板或在普通地面上铺设防静电地垫,并有效接地。 2、接地: a、防静电

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