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光子学的
进展与应用简介
1
Ⅰ、MEMS / MOEMS技术
MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)
1987年美国UC Berkeley大学发明了基于表面
牺牲层技术的微马达，揭示了电路与执行部件集
成制作的可能性.
从MEMS到MOEMS
（MOEMS: Micro-Optic -Electro-Mechanical Systems ）
朗讯公司开发出基于MEMS光开关路由器。
MEMS技术和微光学技术结合，导致一个有巨大潜
能的新技术— 微光电子机械系统问世. 2
MEMS / MOEMS 功能
MOEMS技术在同一硅片上将透镜、反射镜、光束分
光器等微光元件、微定位器、微致动器和控制电
路等单元集成在一起，实现光学平台微型化
在光通信、传感、光控制、航天、生物医疗等领
域有广泛应用前景，誉为21世纪最具代表性技术
3
4
Micro switch 1X8
5
Micro switch (detail)
Output
waveguides
Optical stopper
Gap
a
Input w veguide
6
Microcircuit
7
Micromachines
8
Microchannels
9
微光机电系统(MOEMS)的医学应用
胶囊型内窥镜的问世，与一般的内窥镜比较，完全
避免病人在检查过程中所产生的苦痛。
带有摄像机的胶囊型内
窥镜直径0.9cm，长
2.3cm，被病人吞下后，
可在食道、胃、十二指
肠、小肠、大肠等处拍
摄图像。
10
微型内窥镜的内部结构：
1、光学圆盖
胶囊型内窥镜结构
2、透镜固定环
3、透镜
4、照明发光二极管
5、互补金属氧化物
半导体成像器
6、电池
7、专用集成电路
8、天线
11
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