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氦气回收设备数据分析一、LLG-F305型氦气回收设备初期实验数据收集1. 实验于4月27日在DT-4开始实验，具体数据如下表所示。表1时间进气量进气浓度出气流量出气浓度氦气用量供气压力14:5012.656.16.798.72.83.515:3013.459.27.198.333.715:5013.1606.599.92.83.416:2010.957.66.599.92.93.416:5010.157.66.499.72.93.417:2013.4627.299.82.73.717:5014.362.97.399.82.43.818:201564.37.499.52.63.918:5013.262.17.299.32.73.819:2012.561.3799.32.73.819:508.9556.198.72.73.520:208.251.35.597.62.83.220:505.244.3597.62.9321:2012.461.2799.22.53.821:5010.8606.899.32.73.722:16涂覆波动过大，停机此次实验设备可正常运行，回收率可在80%左右。但是发现只要退火管压力小于5，氦气回收设备抽气量随之减小。后在水冷气封中塞石英棉后，设备可正常工作。光纤位置太偏，会导致涂覆波动。2. 4月28日将设备移至二期DT-5/DT-7进行试验，具体数据如下。表2时间进气量进气浓度出气流量出气浓度氦气用量供气压力16:00232.91.699.48.9216:204.250.23.399.916.5316:403.641.63.398.812.13.116:503.237.93.398.510.6217:005.151.43.698.817.52.717:104.447.43.899.115.22.8此次试验在DT-5上口因设备抽不到气，后换至下口抽气浓度过低，导致设备无法正常工作。后换至DT-7后设备依然抽不到气或者抽气浓度过低，最后将设备移至一期DT-4再次进行验证。并对于二期氦管进行集气实验，看氦管是否存在漏气的可能；将二期氦管加长2m抽气，看能否抽到正常工作所需氦气浓度。3. 4月29日设备在一期DT-4进行试验，具体数据如下。表3时间进气量进气浓度出气流量出气浓度氦气用量供气压力18:257.670.92.295.52.31.918:306.969499.22.163.318:407.260.14.3992.233.518:508.1594.798.82.243.519:001064.95.7992.24419:108.458.25.298.62.053.319:219.359.35.298.92.053.319:309.259.95.399.22.058.519:409.963.85.899.62.143.419:508.458.44.799.12.05320:0012.167.46.399.92.33.520:108.460.85.499.82.33.220:20960.85.499.72.24320:3511.267.26.399.92.073.420:407.958.55.399.92.282.921:0012.768.56.599.91.98321:109.458.95.999.92.282.821:401062.15.599.92.213因设备在二期抽不到气或者抽气浓度过低，将设备移至一期后发现设备可正常工作，且回收率可在80%以上。4. 4月30日将设备回收气体接入MFC管路中进行试验。具体数据如下所示。表4时间进气量进气浓度出气流量出气浓度氦气用量供气压力13:404.387.31.399.92.72.613:501261.95.699.92.64.914:0012.767.76.399.92.53.314:3011.362.65.699.92.53.314:419.661.15.599.92.63.314:55960.45.499.92.63.215:008.260.95.499.92.63.215:2011.5686.499.92.53.615:4013.7696.799.92.43.716:009.262.76.899.92.23.816:1814.769.46.799.92.43.816:4115.169.86.799.92.43.917:0316.269.76.899.92.53.917:2711.966.16.399.92.53.817:4314.567.96.799.42.53.918:2010.767.76.699.52.53.8由于设备能在DT-4正常工作，遂将回收气体接入MFC管路中。在DT-4正常拉丝时，设备可以正常运行，且回收率可达90%以上。5. 5月1日在