设备国产化对LCD设备关键零组件之影响初探下.docVIP

設備國產化對LCD設備關鍵零組件之影響初探（下） 經濟部技術處ITIS計畫/金屬中心 產業分析師 盧素涵 五、設備關鍵零組件本土化 由於使用機械設備必會產生磨耗，因此定期耗材的更換是維持機器正常運轉所必須的程序。然而，對設備廠而言，由原廠供應耗材有不少缺點，如：交期太長、價格偏高、製程變動不夠彈性，因此若能發展設備耗材本土化，則不僅交貨期間可縮短、價格也可大幅降低、製程變動配合性更能提升，效果明顯。 另零組件採購價格是影響TFT-LCD設備成本主要關鍵因素，若進口依存度過高或關鍵技術與專利掌控在他國手中，則偏高的零組件價格將直接反應於設備成本而造成居高不下的競爭劣勢，長期下來，將無益於我國精密機械產業之技術能力提升。 因此，為提升LCD設備本土化，其關鍵零組件的自製率提升也勢在必行。政府訂出設備關鍵零組件自給率將由2005年的20%提升至2008年70﹪、產值達新台幣175億元之目標，其主要發展策略在於建立本土零組件供應體系，希望結合面板廠、研究機構及機械加工業者建立檢測驗證平台，共同開發高價值零組件及耗材。 LCD零組件耗材之特性介紹 LCD零組件耗材之特性大多屬前段製程，例如：微影顯像、化學氣相沈積成膜、蝕刻、濺鍍、洗淨等製程設備因此幾乎都使用在腔體真空環境中。 表三、常見LCD設備零組件耗件分類 類別 項目 電極板類 Upper Electrode、Lower Electrode、Si Electrode、Base Cathode、Ground Plate、Ground Electrode、Carbon Electrode 固定環、板類 Clamp Ring、Shadow Frame、Shield、Baffle Plate、Block Plate Mask Shield、Shadow Plate、Fin Plate、Ceramic Plate、Quartz Plate、Focus Ring、Insulator Ring、Convering Pipe、Plate Baffle、Edge shield Ring 支撐座類 Stage、Heater、Susceptor、Polymide Electronic Satitc Chuck、Ceramic Coated ESC、Pedestal、Vaccum Chuck、Hot Plate、Boat 氣流導勻板類 Diffuser、Shower Head、Nozzle、Gas Ring、Collimator 頂出支撐、固定桿類 Lift Pin、Cap、Block、Supporting Pin、Insulating Screw、Ceramic Screw 手爪、墊塊類 Fork、End Effect、Chamber Robot Pad、Block、Windows、Chamber Aperture、Plug、Wafer Carrier、Seal、Packing、Insulator 滾輪類 Clean Roller、Brush、Anilox Roller、Doctor Roller、Diamond Wheel 伸縮套囊、管件類 Welding Bellows、Forming Bellows、Gas Inlet Cover 資料來源：金屬中心ITIS計畫整理（2006/05） 材質 因零組件耗材多使用於真空腔體環境中，而真空中零組件材料組織內外常會釋出對製程反應具不良影響或會破壞腔體真空度、潔淨度的氣體分子、水氣及不純物，會影響產品品質並造成各種瑕疵。是故對於材料的選擇須相當謹慎，必須經取樣化驗、成分分析、標準比對後，選擇可靠的材料供應來源並取得材質證明，才能開始後續的開發作業。 常用的材料有可分為五大類，包括：不銹鋼、鋁合金、工程塑膠類、工程陶瓷（Engineering Ceramics）類及其他（包括：石墨、Carbon Fiber/Carbon Matrix Composite、Y2O3、GRA複合材料、藍寶石等）類。然而隨著新製程的進步與應用領域的開發，需要不間斷地開發新的材料，通常一夕之間新應用材料出現後，即完全淘汰舊有的技術與市場。 物性要求 機械加工尺寸精度 隨著液晶面板尺寸大型化，薄又大的LCD製程設備零組件在高度上的尺寸公差、平面度及平行度之要求就顯得相當重要。薄件原本極容易在加工過程所中產生扭曲變形，但在平面度上的要求又特別著重，因此需要高精度的機台及專精的加工技術。 表面粗度 由於不佳的表面粗度會嚴重影響腔體抽真空的效率，因此LCD設備零組件耗材對表面粗度非常要求。另，好的孔內與溝面表面，能使氣體流通保持均勻穩定，而交錯、不同心、不平行的表面紋路，將破壞密合墊的密封品