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SiH4在光伏行业中的应用
硅烷 硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。 同义名称：四氢化硅(Silicon hydride) 化学式：SiH4 危险级别：2.1 易燃气体;2.3有毒气体 硅烷气是太阳能电池生产过程中不可或缺的材料，因为它是将硅分子附着于电池表面的最有效方式。 太阳能电池 硅太阳能电池 晶硅太阳能电池 薄膜太阳能电池 单晶硅太阳能电池 多晶硅太阳能电池 非晶硅薄膜太阳能电池 多晶硅薄膜太阳能电池 微晶硅薄膜太阳能电池 晶硅太阳能电池 SiH4 高纯硅 西门子法 热解硅烷法 PECVD 晶硅太阳能电池 电池片生产工艺流程 晶硅太阳能电池 背面铝电极 N型扩散层 P型硅片 减反射膜 正面银电极 PECVD：减反射膜（70-80nm） SiH4 + N2 +NH3 Si3N4+H2 薄膜太阳能电池 非晶硅薄膜太阳能电池为主 薄膜太阳能电池 薄膜太阳能电池 玻璃 透明电极 非晶硅 p-i-n 微晶硅 p-i-n 背电极 背接触 背反射 PVB 玻璃 非晶硅与微晶硅 薄膜太阳能电池 第1步：衬底玻璃 第3步：激光刻划1 第4步：a-Si 沉积 第2步：前接触 第5步：μc-Si 沉积 第6步：激光刻划2 SiH4 薄膜太阳能电池 第8步：激光刻划3 第10步：产生电流 第9步：PN 接触 第7步：背接触 薄膜太阳能电池 Si沉积时所涉及的气体和反应 P层：SiH4, B2H6, CH4, Ar, H2 SiH4 Si+H2 B2H6 B+H2 CH4 C+H2 I层：SiH4, H2 SiH4 Si+H2 N层：SiH4, PH3, Ar, H2 SiH4 Si+H2 PH3 P+H2
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