光学拼接镜面微位移主动调节机构的设计和实测-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １３ ２ 　 Ｖｏｌ．１３ Ｎｏ．２ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００５ ４ Ａ ｒ．２００５ 　　 　　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００５０２０１９１０７ 　 光学拼接镜面微位移主动调节机构的设计和实测 杨德华，戚永军，朱振东，姜方华，陈昆新，张 如 　 （中国科学院 国家天文台 南京天文光学技术研究所，江苏 南京 ２１００４２） 摘要：设计和制造了一套微位移主动调节机构和支撑系统，用以实现拼接镜面天文光学望远镜的每块平 面子镜精密地调节倾斜和轴向平移，并在典型的仰角工况下对该机构进行了实测。设计技术要求子镜 主动调节行程须达±１ｍｍ，同时分辨率须达 ５０ｎｍ以下。选用了工作行程为 ６ｍｍ和分辨率为 ５０ｎｍ 的位移促动器，并引入杠杆机构提高位移分辨率和抑制误差；采用平衡配重和预拉弹簧机构使工作中位 移促动器上保持恒定负载，以保护位移促动器和保证其输出位移精度。依据拼接镜面的工作原理，建立 了子镜微位移调节系统性能测试的数学模型，并在实验室内采用分辨率为 ５ｎｍ的位移传感器进行了 实测。结果表明其位移分辨率可达１２ｎｍ，线性良好，与理论值相对误差为５．６％，验证了该机构设计的 合理性和在不同工作位置良好的灵敏度。 关 键 词：微位移；分辨率；位移测量；杠杆；位移传感器 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＨ７５１ Ａ 　　 犇犲狊犻狀犪狀犱狋犲狊狋狅犳狋犺犲犪犮狋犻狏犲犿犻犮狉狅犿狅狋犻狅狀犿犲犮犺犪狀犻狊犿犳狅狉 犵 狅狋犻犮犪犾犿犻狉狉狅狉狊犲犲犿犲狀狋 狆 犵 ， ， ， ＹＡＮＧＤｅｈｕａ ＱＩＹｏｎｕｎ ＺＨＵＺｈｅｎｄｏｎ ｇｊ ｇ ， ， ＪＩＡＮＧＦａｎｈｕａ ＣＨＥＮＫｕｎｘｉｎ ＺＨＡＮＧＲｕ ｇ （ ／ 犖犪狋犻狅狀犪犾犃狊狋狉狅狀狅犿犻犮犪犾犗犫狊犲狉狏犪狋狅狉犻犲狊犖犪狀犻狀 犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犃狊狋狉狅狀狅犿犻犮犪犾犗 狋犻犮狊犪狀犱 犼 犵 犳 狆 ， ， ， ） 犜犲犮犺狀狅犾狅 犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿