第3章_压力检测2-王威立.ppt

3.9 数字式压力计 3.9.1 MPX压力传感器 MPX2000系列压力传感器如图所示，其结构原理如图所示。 ? 3.9 数字式压力计 3.9.2 测量电路 由温度补偿、放大和A/D转换组成 3.5 电容式压力传感器 定义 电容式传感器是将被测参数变换成电容量的一种传感器，其转换元件实际上就是一个具有可变参数的电容器。 一、 工作原理及特性 二、电容式传感器测量电路 三、实际中存在的问题及其解决方法 四、电容式传感器的应用 内容 电容式指纹识别传感器 电容式指纹识别传感器 当用户的手指放在上面时，金属导体阵列/绝缘物/皮肤就构成了相应的小电容器阵列。它们的电容值随着脊（近的）和沟（远的）与金属导体之间的距离不同而变化。 电容式指纹识别传感器 电容式键盘 常规的键盘有机械式按键和电容式按键两种 电容式键盘是基于电容式开关的键盘，原理是通过按键改变电极间的距离产生电容量的变化，暂时形成震荡脉冲允许通过的条件 理论上这种开关是无触点非接触式的，磨损率极小甚至可以忽略不计，也没有接触不良的隐患，噪音小，容易控制手感，可以制造出高质量的键盘 工艺较机械结构复杂 电容式传声器 传声器（Microphone）俗称话筒(麦克风)，是一种声－电换能器件，可分电动和静电两类 目前广播、电视和娱乐等方面使用的传声器，绝大多数是动圈式和电容式。???? 驻极体电容传声器 大膜片电容传声器 电容式传声器 3.5 电容式压力传感器 3.5.1 电容式传感器的工作原理 S —极板相对覆盖面积； d —极板间距离； ε—电容极板间介质的介电常数； ε0—真空介电常数， ε0 ＝8.85pF/m； εr —相对介电常数。 d S ε 用两块金属平板作电极可构成电容器,当忽略边缘效应时，其电容C为: 电容式传感器的三种类型 变面积(S)型: 变极距(d）型: 变介电常数(ε)型: 1.变面积型电容传感器 当动极板相对于定极板沿着长度方向平移x时，其电容量为： 电容量C与直线位移x呈线性关系。 其测量灵敏度为 ： （1）电容式线位移传感器 初始状态下，x=0, 1.变面积型电容传感器 （2）电容式角位移传感器 初始状态，θ=0时， 当动极板顺时针转动θ角度时， 传感器电容量C与角位移θ呈线性关系 其测量灵敏度为 ： 2.变极距型电容传感器 初始电容 间距减小Δd时，电容量 1 当 才能近似为线性关系 当传感器被近似看作线性时，其灵敏度为： （1）板式结构 （2）差动结构 差动结构的变间隙型电容传感器采用两块定极板，在二者之间放一块动极板。 电容总的变化量为： 电容的相对变化量为： 差动结构的电容传感器既提高了灵敏度，又减小了非线性误差。 此时传感器的测量灵敏度为： 2.变极距型电容传感器 当L=0时，传感器的初始电容 ： 当被测电介质进入极板间L深度后， 电容变化量与电介质移动量L呈线性关系 电容式位移检测仪 电容相对变化量为： （1）板式结构 3.变介电常数型电容传感器 3.变介电常数型电容传感器 初始电容 : 液位高度为hx时，电容为： 液位传感器的输出电容C与液面高度hx呈线性关系 液位传感器 h 2r1 2r2 hx 空气介电常数为 液体介电常数为 （2）圆柱式结构 3.5.3. 测量电路 （1）桥式电路 特性：差动接法的交流电桥电路的输出电压UO与 被测电容ΔC之间呈线性关系。 3.5.3. 测量电路 （2）脉宽调制电路 利用对传感器电容的充放电使电路输出脉冲的宽度随传感器电容量变化而变化。 通过低通滤波器就能得到对应被测量变化的直流信号。 3.5.3. 测量电路 （2）脉宽调制电路 当C1=C2时，各点的电压波形如右图所示: 3.5.3. 测量电路 （2）脉宽调制电路 当C1 C2时，各点的电压波形如右图所示: 3.5.3. 测量电路 （2）脉宽调制电路 uAB 经低通滤波后，就可得到一直流电压UO。 式中UA、UB──A点和B点的矩形脉冲的直流分量； ??T1、T2 ──分别为C1和C2的充电时间； ? U1──触发器输出的高电位。 3.5.3. 测量电路 （2）脉宽调制电路 设电容C1和C2的极间距离和面积分别为d1、d2和S1、S2 差动变极距型 差动变面积型 特性：差动脉冲调宽电路能适用于任何差动式电容式传感器，并具有理论上的线性特性 3.6 霍尔式压力计 电子在运动过程中，在磁场作用下受到洛仑兹力的作用，向一侧偏转，使该侧形成负电荷的积累，另一侧则形成正电荷的积累。这样因电荷积累而建立一个电场。