薄膜制备的真空技术基础教程.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 薄膜制备的真空技术基础 * 按获得真空的方法，真空泵分为两大类： 输运式真空泵：采用对气体进行压缩的方式将气体分子输送至真空系统之外。（机械式气体输运泵，如旋片式机械真空泵、罗茨泵、涡轮分子泵；气流式气体输运泵，如油扩散泵 ） 捕获式真空泵：依靠在真空系统内凝集或吸附气体分子的方式将气体分子捕获，排除于真空系统之外。（低温吸附泵、溅射离子泵） ★某些捕获式真空泵在工作完毕以后还可能将己捕获的气体分子释放回真空系统。 1.3 真空泵简介 薄膜制备的真空技术基础 * 1.3.1 旋片式机械真空泵★ 工作原理： 依靠安置在偏心转子中的可以滑进滑出的旋片将气体隔离、压缩，然后排出泵体之外。 薄膜制备的真空技术基础 * 理论抽速Sp=转子与定子间的体积V×转速f抽速范围:1~300L/s，极限真空度：10-1 Pa 特点：结构简单、工作可靠 缺点：油污染 工作原理示意图： 单独使用或高真空系统的前级真空 吸气 压缩 排气 薄膜制备的真空技术基础 * 1.3.2 罗茨（Roots）真空泵 工作原理： 泵内两个呈8字型的转子以相反的方向旋转。 优点：无油，抽速大（103 L/s）， 极限真空度高（10-2 Pa） 缺点：适用范围窄（0.1~1000Pa） 薄膜制备的真空技术基础 * 1.3.3 油扩散泵 工作原理： 将油加热至高温蒸发状态(约200℃)，让油蒸气呈多级状向下定向高速喷出时不断撞击气体分子，并将部分动量传给这些气体分子，使其被迫向排气口方向运动，在压缩作用下被排出泵体。 适用范围： 1-10-6 Pa 缺点：油蒸气的回流 （解决方法：冷阱） 薄膜制备的真空技术基础 * 1.3.4 涡轮分子泵★ 工作原理： 高速旋转的叶片（2000-3000r/min）将动量传给气体分子，并使其向特定方向运动。 特点：压缩比高（氮气 109，氢气 103），无油。 适用范围：1~10-8 Pa 薄膜制备的真空技术基础 * 1.3.5 低温吸附泵 工作原理： 依靠气体分子在低温条件下自发凝结或被其他物质表面吸附而获得高真空。 真空度依赖于低温温度、吸附物质的表面积、被吸附气体的种类等因素。 适用范围：10-1-10-8 Pa。 薄膜制备的真空技术基础 * 1.3.6 溅射离子泵★ 工作原理： 高压阴极发射出的高速电子与残余气体分子碰撞引起电离放电，电离的气体分子高速撞击Ti阴极溅射出大量Ti原子。活性很高的Ti原子以吸附或化学反应的形式捕获大量气体分子并使其在泵体内沉积下来，实现无油高真空环境。 特点：气体活性大，抽速大；寿命有限。 极限真空度：10-8 Pa。 Ti升华泵 薄膜制备的真空技术基础 * ★ ★ ★ Back 薄膜制备的真空技术基础 * 1.4 真空的测量 真空测量：用特定的仪器和装置，对某一特定空间内真空高低的测定。（真空计、规管） 绝对真空计：通过测定物理参数直接获得气体压强的真空计（U型真空计、压缩式真空计等） 特点：测量比较准确，气压低时测量极其困难 相对真空计：通过测量与压强有关的物理量，并与绝对真空计比较后得到压强值的真空计（放电真空计、热传导真空计、电离真空计等） 特点：准确度略差，可测量低气压 薄膜制备的真空技术基础 * 由仪器测出的真空度与真空室的实际真空度 之间可能会由于温度不同而存在误差。 在分子流状态，而且真空室与测量点之间存 在较细的管道连接时，测量压力pm和实际压力 pc之间的关系将可由分子净通量为零的条件得 出： Tc、Tm — 真空室和测量点处气体温度 薄膜制备的真空技术基础 * 1.4.1 热偶真空规和皮拉尼（Pirani）真空规★ 热偶真空规工作原理：将作为热丝的Pt通过恒定强度的电流。在达到热平衡以后，电流提供的加热功率与通过空间热辐射、金属丝热传导以及气体分子热传导而损失的功率相等，因而热丝的温度将随着真空度的不同而有规律变化。 设计基础：气体热导率随气体压力的变化。 薄膜制备的真空技术基础 * 热电势随气体压力的变化曲线 缺点：非线性，测量结果与气体种类有关，零点漂移严重。 优点：结构简单，使用方便。 测量范围:0.1-100Pa 气体的热导率将随着气体压力的增加而上升，因而热丝的温度会随着气体压力的上升而降低。这时，用热电偶测出了热丝本身的温度，也就相应测出了环境的气体压力。 薄膜制备的真空技术基础 * 皮拉尼真空规：又称热阻式真空规，通过测量热丝的电阻随温度的变化来实现对真空度的测量。 优缺点：同热偶真空规 类型：定温度型，定电流