第二章节 传感器的功能材料及加工工艺.pptVIP

LOGO 第2章 传感器的功能材料及加工工艺 传感器的基础是构成传感器的材料其本身的各种基础功能效应，以及这些效应的传输和功能形态的变换 加工工艺是传感器从实验室走向实用的关键。现代加工制造技术中的各种工艺手段在传感器领域都有所体现。 多个零部件组装而成的结构型传感器，如应变电阻式传感器、涡街流量传感器、电涡流传感器等，其敏感原理早已为大家所熟知，而加工工艺则各有千秋。传感器的性能，尤其是温度稳定性、可靠性等指标，也因此而有很大差异 2.1 2.2 第2章 传感器的功能材料及加工工艺 传感器使用的材料 传感器的加工工艺 传感器材料： 敏感材料 辅助材料 2.1传感器使用的材料 表 2?1各类材料在传感器中的应用情况 导体、半导体和电介质 导体 有两类导体，即电导体（金属及其合金）和离子导体或电解液（酸、碱和盐溶液） 金属及其合金被用于传感器时可利用其热电特性，或者其电导率对温度和应力的依赖性。 金属还可用来构成能使被测对象产生显著变化的电路元件，如电涡流传感器中的线圈、电容式传感器的极板、电化学传感器中的电极等。 离子导体或电解液主要用于化学量传感器，尤其是基于电化学原理的传感器。 尤其是基于电化学原理的传感器。虽然电化学传感器方面的理论已经相当成熟，但具体实现技术方面仍然存在许多需要研究的问题。电化学传感器的技术成熟度几乎是目前所知的化学量传感器中最高的。据统计，商业化的气体传感器中，90%以上属于电化学类传感器。 电介质 电介质材料具有共价键，是良好的电绝缘体。电介质材料的特性常用介电常数来表征。介电常数是电通量密度与电场强度之比，即 。真空的介电常数为 ，电介质材料的介电常数则为 。陶瓷、有机聚合物和石英也是传感器中经常使用的电介质 2.1.3陶瓷敏感材料 2.1.3.1物理敏感陶瓷材料 陶瓷热敏器件 陶瓷光敏电阻 陶瓷压电元件 陶瓷热释电材料 2.1.3陶瓷敏感材料 2.1.3.2化学敏感陶瓷材料 湿敏陶瓷 气敏陶瓷? 2.1.3.3其他陶瓷材料 有机高分子敏感材料 有机敏感材料具有的优点是： ①容易加工，容易做成均匀大面积材料； ②设计、合成新结构分子的自由度大，从而带来了敏感材料的多样性； ③可实现在无机敏感材料中难以达到的识别功能。 2.1.3有机高分子敏感材料 2.1.4.1有机敏感材料的种类和特性 有机敏感材料 2.1.4.1有机敏感材料的种类和特性 利用有机材料的敏感元件 2.1.4 有机高分子敏感材料 有机高分子湿敏材料 有机高分子气敏材料 有机高分子压电材料 2.1.5 磁性材料 真空中的磁通量与外加磁场强度成正比： 其中，M是每单位体积的磁偶极矩或磁化强度， 为相对磁导率。 磁性材料可以被用做将磁通量限定在确定的体积范围内的结构元器件。 此外，在传感器中，可用于检测一些磁参量，此时被检测的磁参量能改变另一些物理特性，如磁敏电阻的电导率；还可用于检测能改变磁特性的一些物理量，如温度和机械应力等。 2.2 传感器的加工工艺 2.2.1结构型传感器的加工工艺 应用不同的加工方法所能得到的加工精度 2.2.1结构型传感器的加工工艺 悬臂梁式称重传感器 2.2.1结构型传感器的加工工艺 1．弹性体的加工和处理 2．应变计的粘贴与固化 3．组桥、布线卫性能检查 4．传感器的性能补偿与老化 5．防潮密封工艺 6．性能检测和标定工艺 2.2.1结构型传感器的加工工艺 电阻应变式传感器的防护密封结构示意图 2.2.2微机械加工工艺 2.2.2.1微传感器与微机电系统 MEMS所涉及到的技术领域 2.2.2.1微传感器与微机电系统 MEMS的应用 微机械加工工艺 传统超精密与特种加工技术 超精密机械加工 微钻孔加工 微铣削加工 微细磨削（超精密磨削） 微细电火花加工 传统超精密与特种加工技术 线电极电火花磨削法原理示意 采用线电极电火花磨削加工的微结构 2.2.2微机械加工工艺 高能束微机械加工技术 激光束加工 电子束加工电子束加工 激光束加工示意 热型电子束加工示意 2.2.2微机械加工工艺 非热型电子束加工示意 离子束加工 离子束加工的基本原理是将聚焦后的离子束用电场加速，使其达到高能量状态去撞击工件，使材料表面的原子获得动能，从工件本体上分离，实现加工目的。离子束加工主要应用于微机械加工、溅射加工和注入加工。离子束加工适用于各种金属材料的切割、焊接、热处理，还可进行工件表表面强化、等离子弧堆焊及喷涂。 LOGO 敏感材料是传感器材料的核心，它的品种繁多，性能要求严格。按照敏感材料的材质分类，可分为半导体材料、敏感陶瓷材料、金属与合金材料、无机材料和有机材料、生化材料等。 辅助材料是传感器发展不可缺少的组成部分，对辅助材料的选择与应用是否合