特气系统报告演示文档.ppt

* 测试项目 验收內容 出厂时 1.出入口端加裝管帽 2.盘面填充PN2 保压(1-2 bar) He泄露测试 2×10-9 atm.cc/sec 微粒子测试 1. PN2流量 ? 30 ml/sec 2. 微粒子 ? 5 EA/ft3 at 0.1-0.3 ?m 3. 微粒子 0 EA/ft3 at 大于0.3 ?m H2O含量测试 1. PN2流量 ? 10 LPM 2. H2O浓度差 10 ppb O2含量测试 1. PN2流量 ? 10 LPM 2. O2浓度差 10 ppb 2.94气瓶柜的验收规格 * 3.管路分类 单套管：惰性气体 双套管：腐蚀性/可燃性/毒性 一般要求SiH4、PH3、AsH3 316L EP管(Electro-Polish) 316L BA管(Bright Anneal) 316 AP管(未经处理之素管) 输送距离之考量 气体使用点之最佳规划 气体预留扩充点之评估 安全性之考量 紧急遮断系统 管路位置设计 使用与维护之设计 双套管需求 * 3.1管路安全设计 安全 稳定 * 3.2管路流速与用量之设计 气体理想流速 气体种类 气体流速 一般气体 10m/s 可燃气体 7m/s 液态气体 6m/s 毒性气体 8m/s O2 7m/s * 3.2双套管设计重点与优缺点 设计重点 內/外管材质为SUS 316 AP/SUS 316L EP 外管可抽成负压或灌氮气维持正压 外管接压力表或压力警报器 外管接气体侦测器 优点 可避免外管直接受到撞击 可将泄露气体阻隔于外管內 缺点 扩充不易、施工困难、成本昂贵 泄露源位置难以确认、维护困难且费用高 * 设计方式 优点 缺点 负压设计 1.灵敏度较高 2.若泄露，不会影响制程 1.需要抽真空 2.若泄露，易造成外管腐蚀 正压设计 1.以PN2保压方便 2.若泄露，较不易造成外管腐蚀 1.灵敏度较差 2.若泄露，会污染制程 开放式设计 1.简单方便 1.危险性较高 2.无法迅速判定泄露源 3.3管路流速与用量之设计 * 減少滯留点：环状配管、purge机构 減少焊接点：规格化、bulk valve、拔曲成型管 減少弯曲点：bulk valve、拔曲成型管 焊接點之位置：支架阀基、管路途径 管路行径之环境：耐震、耐蚀、外力、温湿度、药品、电气…等 减少接头：零件之耐久性 操作性：阀之位置、压力計、流量计、purge 维护性：零件之位置、检查、更换需容易，purge设计 3.4管路施工与设计要求 * 测试项目 测试內容 耐压测试 1.以PN2加压达到使用压力的1.5倍，持续60min 2.以焊道及元件变形量判断 持压气密测试 1.以PN2加压达到使用压力的1.2倍，持续24hr 2.无明显之压降现象(压降 ? 1%) H2O含量测试 1.以PN2做测试 2.露点溫度(Dewpoint) ? -105℃ O2含量测试 1.以PN2做测试 2.O2浓度值 ? 10 ppb 3.5 管路验收测试作业(一) * 测试项目 测试內容 He气密测试 1.一般只做special gas 2.以管內抽真空至 ? 10-9 atm.cc/sec 3.管外测试点喷He，包括所有管件、接点 微粒子测试 1.测试前，以PN2 purge 2.一般以2 bar压力purge持续3hrs以上 3.测试时间至少30 min 4.每5 min一张记录，30 min后得出平均表 5.平均微粒子数量 ? 5 EA/ft3 at 0.1?m 3.51 管路验收测试作业(二) VMB需裝設气体侦测器、抽气裝置 可设计同类或相容气体于同一阀盘 一般设计成4、8、10接点，供气至数个机台 需有独立的purge系统 PN2不建议由中央供应系统供应 可做为气体中间调压 可设定供气压力警报点(±5 psi) 机台维修时，能提供做为气体管路的隔绝功能 紧急状况如泄露、火灾、地震时，也可利用VMB之气动阀进行气体系统的自动分段隔离 * 4.现场供气阀盘VMB/VMP 3.2.1 VMB/VMP照片 * 4.1 VMB/VMP照片 3.2.2a 1进4出VMB * 4.2 VMB/VMP PID * 4.3传统式与集体化阀盘之比较 * 传统式 集体化 空间 大 小 焊接点、弯曲点 多 少 安装 复杂 佳 维护费用 低 高 安全性 稍差 较佳 4.3a传统式与集体化阀盘之比较 * 气体項目 特性 TLV or TEL Cl2 毒、腐、臭 500 ppb PH3 燃、毒、臭 300 ppb AsH3 燃、毒、臭 50 ppb SiH4 燃、毒、臭 5 ppm B2H6 燃、毒、臭 100 ppb HBr 毒、腐、臭 3 ppm SiH2Cl2 燃、毒、腐、臭 5 ppm(Ceiling