共焦显微镜(几何参量)-黑龙江省质量技术监督局.docVIP

黑龙江省地方计量技术规范 JJF（黑）02—2014 共焦显微镜(几何参量)校准规范 2014-08-12 发布 2014-09-01实施 共焦显微镜（几何参量）校 准规范 Calibration Specification for Confocal Microscope (Geometry Parameter) 本规范经黑龙江省质量技术监督局于2014年08月11日批准，并自2014年09月01日起施行。 归 口 单 位：黑龙江省质量技术监督局 主要起草单位：哈尔滨工业大学 黑龙江省计量检定测试院 本规程由黑龙江省质量技术监督局负责解释  目 录引 言 1 1 范围 2 2 引用文件 2 3 术语和定义 2 4 概述 2 5 计量特性 3 6 校准条件 3 6.1 环境条件 3 7 校准项目和校准方法 4 7.1 校准项目 4 7.2 X、Y轴微动测量示值允许误差 4 7.3 Z轴微动测量示值允许误差 5 7.4 X、Y轴微动测量重复性 6 7.5 Z轴微动测量重复性 6 7.6 X、Y、Z轴拼接机构单向定位偏差 6 7.7 X、Y轴拼接机构直线度 7 7.8 Z轴拼接机构直线度 8 8 校准结果表达 9 9 复校时间间隔 9 附录A 共焦显微镜（几何参量）Z轴微动测量示值允许误差的不确定度评定 10 附录 B校准证书内容及内页格式 13 引 言 共焦显微镜（几何参量）校准规范 1 范围 本规范适用于基于共焦显微原理进行被测样品三维几何参量测量的共焦显微镜（几何参量）的校准。该类仪器由负责三维测量功能的共焦显微和负责拼接功能的高精度三维载物台组成，其中共焦显微X、Y和Z轴的测量范围均在100μm1000μm之间；高精度三维载物台X、Y和Z轴的拼接范围均在1mm20mm之间。本规范引用下列文件 JJF 1094—2002 测量仪器特性评定 JJF 1071－2010 国家计量校准规范编写规则 JJF 1001－2011 通用计量术语及定义 JJF 1251—2010 坐标定位测量系统校准规范 JJF1059.1-2012 测量不确定度评定与表示 GB/T11336-2004 直线度误差检测 GB/T 19067.1-2003 产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准 第1部分：实物测量标准 GB/T 1958-2004 产品几何量技术规范(GPS)形状和位置公差检测规定 凡是注明日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修订单）适用于本规范。 3 术语和定义 共焦显微镜confocal microscopy 一种利用逐点照明和空间针孔调制来去除样品非焦点平面的散射光的光学成像显微镜。 概述 共焦显微镜（几何参量）通过在光学系统照明端和探测端面处引入针孔，有效抑制了杂散光的影响，获得了独特的轴向层析能力，实现了较高的轴向分辨力，结合高精度扫描实现了对被测样品的三维形貌测量。 其测量过程分为共焦显微和高精度三维载物台拼接两个步骤，其中共焦显微是核心部分。首先进行微扫描，通过X、Y、Z轴的微动机构完成显微物镜焦点在样品表面三维空间的扫描过程，得到样品在该三维空间大小范围内的几何参量数据。其中X、Y轴测量范围均在100μm1000μm之间。其次高精度三维载物台拼接，共焦显微高精度三维载物台X、Y和Z轴的拼接范围均在1mm20mm之间。 其硬件组成结构包括：共焦显微微动扫描测量系统、高精度三维载物台拼接测量系统、基座及计算机系统组成。共焦显微镜结构示意图如图1所示。 5 计量特性 计量特性名称及要求见表1。 序号 计量特性名称 要求 1 X、Y轴微测量示值误差 ≤0.1 2 Z轴微测量示值允许误差 ≤0.04μm 3 X、Y轴微测量重复性 ≤0.05μm 4 Z