丙烯化学气相沉积热解碳的原位动力学.PDF

复 合 材 料 学报 第 卷 第 期 月 年 ２５ ６ １２ ２００８ 　 　　 　 犃犮狋犪犕犪狋犲狉犻犪犲犆狅犿狅狊犻狋犪犲犛犻狀犻犮犪 Ｖｏｌ．２５ Ｎｏ．６ Ｄｅｃｅｍｂｅｒ ２００８ 狆 文章编号： （ ） １０００３８５１２００８０６０１５２０４ 丙烯化学气相沉积热解碳的原位动力学  卢翠英，成来飞 ，张立同，徐永东，赵春年 （西北工业大学 超高温结构复合材料国防科技重点实验室，西安 ７１００７２） 摘 要： 以丙烯为气源，在 ８００℃ １２００℃进行化学气相沉积热解碳。研究了温度、压力和滞留时间对沉积速率 　 　 ～ 和气相产物的影响。采用磁悬浮天平原位实时称量反应过程中的固相产物进行动力学研究；采用气相色谱和质谱 联用半定量分析了反应过程中的气体产物。动力学研究结果表明， 内活化能为 ／ ８００℃ １０００℃ １３７ｋＪｍｏｌ± ～ ／ ，沉积过程为化学动力学控制；高于 时，沉积行为由气相分子的传质和气相成核控制。压力和滞 ２５ｋＪｍｏｌ １０００℃ 留时间对沉积速率的影响说明，热解碳是经过一系列气相反应和固体表面反应后获得。气相产物分析说明，不同 控制机制时形成热解碳的主要物质不同。在此基础上提出了丙烯分解形成热解碳的机制。 关键词： 原位动力学；丙烯；热解碳；化学气相沉积 　 中图分类号： ＴＱ３２３ 文献标志码：Ａ 　 　　 犐狀狊犻狋狌犽犻狀犲狋犻犮狊狅狀犮犺犲犿犻犮犪犾狏犪狅狉犱犲狅狊犻狋犻狅狀狅犳 狉狅犮犪狉犫狅狀犳狉狅犿 狉狅 犾犲狀犲 狆 狆 狆狔 狆 狆狔  ， ， ， ， ＬＵＣｕｉｉｎ ＣＨＥＮＧＬａｉｆｅｉ ＺＨＡＮＧＬｉｔｏｎ ＸＵＹｏｎｄｏｎ ＺＨＡＯＣｈｕｎｎｉａｎ ｙ ｇ ｇ ｇ ｇ （ ， ＮａｔｉｏｎａｌＫｅ ＬａｂｏｒａｔｏｒｏｆＴｈｅｒｍｏｓｔｒｕｃｔｕｒａｌＣｏｍ ｏｓｉｔｅＭａｔｅｒｉａｌｓ ｙ ｙ ｐ ， ， ） ＮｏｒｔｈｗｅｓｔｅｒｎＰｏｌｔｅｃｈｎｉｃａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔ Ｘｉａｎ７１００７２ Ｃｈｉｎａ ｙ ｙ ： ，