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SEM 機台維修 維修及紀錄:謝文興、張紓語 (一)情況：燈絲燒斷 (原廠燈絲壽命在90 小時左右,以往我們使用60~200 小時， 視使用率而不同) 。在SEM 機台使用中，影像忽然消失，電流變零(看 SEM 面板第二頁)見圖 1-1 。 處理步驟：拆裝電子槍匣和換燈絲 1.拆卸電子槍匣：見圖 1-2 a 將電子槍匣放置在燈絲固定座上。 b 逆時針把閘極蓋鬆卸下來(閘極蓋和燈絲座之間有一銅墊片) 。 c 鬆開固定燈絲的螺絲(有四支) ，即可拿起燈絲座，再將燒斷的燈絲放入回 收盒並註名日期。 2.清理閘極蓋、燈絲座和銅墊片： a 先用GP 震洗一個小時左右。用無塵祇裹些金屬研磨膏，將積在其上的鎢、 碳磨下來，需拋光至原來的亮面。清潔前的顏色見圖 1-3 、清潔後的顏色見 圖1-4 。 b 將閘極蓋、燈絲座和銅墊片震洗 (Aceton→Methanol→DI Water) ，把殘 餘的金屬研磨膏震洗掉。最好重複多震洗幾次，確保沒有殘留物。 ＊組裝電子槍匣前要確定閘極蓋、燈絲座和銅墊片上沒有沾附任何髒東西。 尤其特別要注意的部分 ：燈絲座裡面的螺牙、閘極蓋裡的螺牙 。 3.組裝電子槍匣： a 將新的燈絲插入燈絲固定座上。 ＊注意:千萬不可碰觸到燈絲或對著燈絲說話，以免毀壞燈絲而減少燈絲壽 命。 b 依序把燈絲座、銅墊片、閘極蓋輕放回燈絲固定座上。 c 緩慢地將閘極蓋順時針鎖上燈絲座，同時注意燈絲尖端的位置，輕鎖固 定燈絲的螺絲，把燈絲尖端調整在閘極蓋孔的中心。重複此動作，直到燈 絲尖端與閘極蓋孔水平切齊，見圖 1-5 。 d 再轉鬆閘極蓋，讓燈絲尖端比閘極蓋孔低0.5mm ，見圖1-6 。 4.每次換燈絲要順便清理正極蓋。清潔方法同2 。注意：清潔後，一定要檢查 清楚有沒有殘留物，若有殘留物將污染整各腔體。 (二)情況： A. 電流不穩 。將電子束全部打在Faraday Cup 裡面，調上面的aperture 至電 流的最大值，但沒過多久電流就漂掉變小或為零。 B. 電流太小 。將電子束全部打在Faraday Cup 裡面，調上面的aperture 至電 流的最大值 。當電壓加到30KV ，Spot size=9 時，Beam current 至少要有 25pA 。 處理步驟： 1. 先確定燈絲尖端是不是在閘極蓋孔的正中央，然後調整燈絲尖端到閘極蓋 孔的距離。目前這個部分只能用目測，所以可能要多試幾次，找電流的最 大值。 2. 若 A 步驟確實完成，但電流值還是不如預期，我們就要檢查上下兩支 aperture 是否受污染。將Tightening ring 逆時針轉鬆，呈水平緩慢地拉出 來( ＊小心!!不要撞到aperture) ，查看孔洞周圍的顏色，若和原來的顏色不 同，就要更換新的aperture(見2-1) 。 3. 若A 、B 步驟確實完成，但電流值還是不如預期，我們就要檢查無氧銅圓 筒套管是否受污染。 a.拿起正極蓋。 b.用夾具將無氧銅圓筒套管垂直地從腔體拔出來( ＊小心!!不要撞到周圍 的電磁透鏡) ，檢查圓筒套管是否呈亮面的黃銅色(見2-2) 。若顏色改變了 (見2-3) ，就要拆卸下來清洗。 c.用柱狀黃銅座(見2-4)將內套管從外套管推出來。內套管包括：一支8.1cm 長的套管、兩支4.8cm 長的套管、一支4.1cm 長的套管，總長21.8cm 。 另外，每個套筒之間有一開孔薄片及一個長6mm 的狹縫扣環(見2-5) 。 d. 用棉花棒沾酒精再裹些氧化鋁粉，將積在其上的鎢、碳磨下來，需拋 光至原來的亮面。 e.清潔完後，將內套管組裝起來，放入外