微尺度射频元件设计理论基础及微机械天线的研究（可编辑）.doc

微尺度射频元件设计理论基础及微机械天线的研究 .“ 的研究更是迅猛发展的无线通信技术的重中 之重。下 本文在分析国内外.研究现状的基础上,对相关微尺度射频元 件,如微机械电感器、微机械电容器、微机械射频开关以及微机械谐振器,滤 波器的设计理论作了较深入的分析,为这些微尺度射频元件的研制提供了理 论基础。本文重点对关键器件??微机械天线作了深入的理论、数值计算和 实验研究,成功地研制出多种结构的微机械天线,在微机械天线的理论设计 和制造上取得了突破与刨新。 本论文的主要研究内容包括:研究了微尺度射频元件如微机械电感器、 微机械电容器、微机械射频开关和微机械谐振器/滤波器等设计基本理论; 重点对微机械天线的结构设计,微机械天线的基本理论与电磁仿真计算,微 机械天线的制造和测试等方面作了较全面的研究。微机械天线研究具体涉及 到微机械微带线结构设计及其有效介电常数、特性分析;微机械天线混合基 底等效模型及其空腔模型法分析;微机械天线的有限时域差分法分析;微机 械天线结构设计及微型化研究;微机械天线的参数计算及电磁数值仿真分析; 微机械天线的加工制造;微机械天线的测试;微机械天线的计算与测试结果 分析。 /论文的创造性成果主要体现在: 提出并综合了微尺度射频元件的设计理论,为微尺度射频元件研制奠 定了理论基础; 针对天线基底如硅材料的高介电常数对天线的影响,提出利用硅 微机械加工技术对硅基底进行改良的方法。具体做法是:在硅基底中刻蚀出一定 尺寸的空腔结构,使基底成为包含空气和硅的混合结构,从而有效降低天线基底 的介电常数,以改善天线性能,为以硅为基底材料的天线研制打下基础。 首次将空腔模型法和有限时域差分法引入微机械天线基本 理论研究和电磁数值分析。提出利用单一均匀介质基底等效混合介质基底的等效 模型和空腔模型法分析微机械微带贴片天线特性。针对微机械天线的规则性、微 型化的特点,采用法作数值仿真时,采用更小的空问和时间步长将天线 计算空间离散化,可提高计算精度。计算与实际微机械天线的测试结果相比较, 说明我们分析和计算方法在指导微机械天线的设计上是可行的。摘 要 微机械天线结构设计上的创新,采用经典理论和数值计算相结合的方 法来解决电磁场传播及耦合的问题,在天线设计方面打破了传统微带天线,波 长的惯用模式,采用双新型结构,成功地将天线的几何尺寸缩小至/波长, 可以说是微机械天线微型化研究的一大突破,未见国内外有报道。 基底介质材料选取上的突破,由于硅基底微带天线具有介质损耗大、 带宽窄、天线增益小等缺点,采取摈弃常规、单一基底介质模式,而采用硅、特 殊高频介质如和空腔相结合的办法,改善天线性能。由于使用以硅为 主的复合基底介质,利用硅片上微带电路技术与集成电路技术的良好兼容性,这 为片上无线通信系统所需天线的研究打下基础。” /通过本论文的研究为进一步提高微尺度射频元件,特别是微机械天线的研 究水平,为天线微型化与集成制造奠定一定的理论和技术基础。、? 关键词:微机电系统,微机械天线,微尺度射频元件 .?疵枷Ⅱ . .耐 .. . ,.自 /.. .∞ ∞:, ,.. . /. ,嵋. , , , ,,,.: 圯. .扛.山 忸 .; .. 《吐晒∞”血,哦 丑: ; 。∞ “, 丑.血 ∞ . 撕. / . / ’ , . 】Ⅻ出 ,, . ,?. . , : , 丘 .Ⅱ. 绪 论 绪论 .引言 信息技术已走上多媒体、网络化和智能化的道路,微电子信息处理已向 系统级芯片集成发展。微机电系统.? 技术已成为目前信息技术中非常活跃的研究领域,其目标是把信息获取、处 理和执行一体化地集成在一起,使之成为真正的系统,被认为是继微电子技 术后的又一次革命。 微机电系统技术是结合微电子技术和精密加工技术,将产品达到轻、薄、 短、小的境界,其技术有三个特色:结合光、电、机械、材料、控制、化学 等多项技术,使产品具有优良的特色:元件的微小化,使它有高精确度、高 可靠度、成本低、可大量生产、反应速度快等优点, 利用技术开辟新兴产业,并提升高科技产业的竞争能力,加快用 高新技术改造传统产业的步伐。结合半导体技术及精密加工技术,配合同步 辐射技术和新材料、新模块组装技术,朝集成化、低成本化、高效率化、智 能化、批量化的目标迈进,建立二十一世纪的主流核心技术,迅速将其应用 于通信、自动化、信息家电、交通,精密仪器制造、生物医学、遥感遥测、 环境保护等诸多产业,为我国的经济、国防和科技的发展贡献力量。 目前,许多工业发达国家己将及其制造技术列为二十一世纪初国 家重点支持和发展的关键技术,积极投入大量资金用于器件及系统的 研究开发工作。欧盟的计划所发布的市场分析调查报告预估,公元 年全球产品的年需求量可达亿美元。而且鉴于的重要性,