微夹钳研究的进展与展望-光学精密工程.PDF

, 第 卷 第 期 光学 精密工程 目 ‘ , 年 月 一 一 一 文章约号 的 展与展 微夹钳研究 进 望 , , , 张培玉 国英 郝一 龙 李志军 , 北京大学微电子所 北京 要 内 之 文 了 夹 用 , 回 了 摘耍 徽夹钳技术是徽机械技术的重 容 一 本 首先论述 徽 钳的应 背景 顾 徽夹钳技 , , 目 国 究 了 了 术研究的历史及现状 对 前 内外所研 的微夹钳进行 分类 并对其结构工艺与工作原理进行 分 , 夹 展 了展 析 最后 对徽 钳技术的发 进行 望 , , 关 镇 词 徽夹柑 徽机 电系统 绘述 图 中 分类号 文献标识码 、 、 器 人 爪, 的手 而且在微机械零件的加工 装配 生 , 引 言 物工程和光学等领域均有很好的应用前景〔一 因 ,