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基础科学 * * * * 基础科学 电子探针显微分析 第十二章 基础科学 §12－1电子探针仪的结果与原理 电子探针的主要功能是进行微区成分分析。 使用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析X射线的波长，即可知道样品中所含元素的种类。 分析特征X射线的强度，可知样品中对应元素的相对含量。 基础科学 电子探针仪信号检测系统是X射线谱仪： 用来检测特征波长的谱仪叫做波长分散谱仪（波谱仪）。 用来检测特征能量的谱仪叫做能量分散谱仪（能谱仪）。 基础科学 一、波谱分散谱仪（波谱仪，WDS） （一）工作原理 在电子探针中的X射线是从样品表层以下一个微米乃至纳米数量级的作用体积激发出来的。 采用晶体分光器对所激发的不同元素所产生的X射线进行分光。 接收器可记录不同波长的X射线，显示出来。 基础科学 基础科学 两种X射线聚焦方法 约翰（Johann）型聚焦法 约翰逊（Johansson）型聚焦法 基础科学 （二）分析方法 基础科学 常用晶体 供衍射用的晶面 2d/nm 通用波长λ／nm LiF （200） 0.40267 0.08～0.38 SiO2 （1011） 0.66862 0.11～0.63 异戎四醇（PET） （002） 0.874 0.14～0.83 邻苯二酸鉫（RAP） （001） 2.6121 0.2～1.83 邻苯二酸钾（KAP） （1010）