闭环控制高性能磁控溅射离子镀膜机.docVIP

上海大学公开邀请招标购置 “闭环控制高性能磁控溅射离子镀膜机”的公告 招标编号：SDSB-13053 根据《中华人民共和国政府采购法》《上海市政府采购招标暂行办法》和《上海大学仪器 设备招、投标管理办法》，上海大学材料学院金属材料实验室因教学、科研发展需要，现公开邀请招标采购闭环控制高性能磁控溅射离子镀膜机。 设备需求 1. 设备名称：闭环控制高性能磁控溅射离子镀膜机 2. 技术要求： 多功能全自动闭环控制高性能磁控溅射离子镀膜机。采用闭合场、非平衡磁控溅射、高功率直流/直流脉冲磁控溅射电源供给、高速光学成分控制、全自动职能控制系统、立式不锈钢双层水冷真空腔体、高精度真空测量和反应气体供给装置等多种技术复合的方式，实现在各种适合的基体上沉积各种材质的复合/功能梯度/多层薄膜的功能。 2.1 真空腔室 2.1.1 真空腔室尺寸：Φ650×650 mm2； 2.1.2 真空腔室系统应采用304不锈钢材料； 2.1.3 真空腔室带夹层式水冷通路，不可采用外部蛇形水冷管路焊接形式； 2.1.4 真空腔室内外表面均要求电解抛光，达到平整、光滑、无严重划伤等瑕疵； 2.1.5 真空腔室应采用前开门结构，带有3个大视角观察窗，可随时观察真空腔室内的工作状态； 2.1.6 真空腔室内部挡板厚度需2mm，材质等同真空腔室，数量2套，表面需做喷砂处理； 2.1.7 真空腔室应预留标准规格的法兰口，KF10预留2个，KF25预留4个、KF40预留2个； 2.1.8 真空腔室所有真空密封用的橡胶密封圈需采用优质的耐高温氟橡胶密封圈； 2.1.9 极限真空度7×10-4Pa；室温空炉状态下真空腔室的升压率（漏率）8×10-6Pa.m3/s。 2.2 真空系统 2.2.1 主真空泵采用KYKY品牌涡轮分子泵，抽气速率1500L/S； 2.2.2 前级泵采用KYKY品牌机械真空泵，抽速14L/S； 2.2.3 高真空阀采用KYKY品牌高真空插板阀或碟阀； 2.2.4 室温空炉状态下真空腔体抽气时间从大气压到7×10-3Pa 30分钟； 2.2.5 所有真空管道和真空阀门都应采用304不锈钢制造； 2.2.6 所有真空阀门均要采用气压式传动系统（非电动）。 2.3 真空检测和气路系统 需采用原装进口Edwards系列进口均匀镀膜高度区域250mm，250mm 范围内镀膜均匀性+/-12%，中心 200mm 范围内均匀性+/-7%。测试方法：镀制 2 微米厚度的 Cr，测定工件盘不同位置的厚度并计算均匀性原装进口Advanced Energy原装进口 Advanced EnergyCr×2， Ti×1， Al×1每一路水流量都应该实时检测，水流停止应锁定相应的靶源系统，有相应报警装置和措施，保证使用安全和可靠； CrTiAlN、CrAlN、CrN、TiNchneider系列； 2.9.11 电控系统的计数器、计时器、温控器、安全开关等必须采用可靠性较高的国际知名品牌欧姆龙Omron系列。 2.10 辅助设备 2.10.1 空压机：小型静音无油型，功率700W，额定排气压力大于0.7MPa，气罐容积20L； 2.10.2 风冷冷水机：室外风冷式，制冷功率4kW，出水流量20L/分钟，温度可控范围5~30℃，可调温度步长0.5℃； 2.10.3 小型超声波清洗机：需三槽手动控制，第一槽为600W、28kHz超声波清洗槽，加热功率1kW，温度范围室温~55℃；第二槽为鼓泡漂洗槽，加热功率和温度范围要求同第一槽；第三槽为热风烘干槽，加热功率3kW，温度范围室温~80℃；要求槽体内部有效尺寸L200×W300×H280(mm)； 相电压220V±3%Cr×2， Ti×1， Al×14. 易损、易耗件清单和价格表 请投标人提供一整套 O 形圈，机械泵油、真空脂、2 个观察玻璃窗驱动皮带，光学发射监控光纤价格表 报价单位应根据设备需求的规定进行报价，其报价在采购过程中是不可以改变的（除非买方对设备提出新的要求）。 报价单位对设备需求中所列的设备进行报价。报价单位可以用技术规格等于或高于同类品种的设备进行报价。 进行报价的设备必须同时附设备图样，主要技术性能、主要技术指标和具体配置的书面资料。 报价以人民币报价。 四、交货时间 中标厂商须在合同签约之日起180天内保质保量交付所有设备和附件。 五、验收方式： 设备到货后，由卖方、买方共同开箱验货；卖方保证货品的型号、规格、数量与合同相符。卖方负责派工程师到用户现场免费进行安装调试，一般厚度2.5 μm ± 0.2μm；摩擦系数约为0.45；硬度约2,800 VHN ± 100VHN。膜厚重复性：不同批次间膜厚重复性（Repeatability）优于±5%测试方法：按照相同工艺，连续做三次工艺，测量其厚度偏差在系统