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mems工艺用特气安全讲座
特种气体输送系统 讲 座 目 的 该讲座的目的是能够让参与者: 了解气体常识 了解特气的危险性 了解如何正确的操作和储藏气体 了解本项目特气输送系统的特气和操作 正确操作和使用本项目的特气设备和系统 正确适当处理有关特气的紧急状况 物质存在形态 压 缩 气 体 DOT (Department of Transportation, 美国交通运输部) 将压缩气体定义为 任何在容器内绝对压力达到 40 PSI at 70 oF (21o C)的气体 或 压强达到 104 PSIA at 130 oF(54 o C) 或 蒸汽压力达到 40 PSIA at 100 oF(37.7 o C)的可燃性液体 压缩气体是一种能量储存方式,因此具有潜在的释放危险。 气 体 两大类气体 永久性气体 或 低温气体 N2, He, and Ar 液态压缩气体 CO2, HCl,NH3 特殊气体 极稀有气体 – Xenon 不存在于空气中 人工合成 - Tungsten Hexafluoride(WF6) 极高纯度- Mega Class(99.9999%。) D. O. T. 危险分类 危 险 分 类 不可燃 Good Examples: N2 Ar He Bad Examples: HCl NF3 Cl2 不可燃气体危险性 窒息性—— 取代肺中的氧气. 压强—— 单位面积所承受的压力 能量—— 气体在状态转变过程中产生的能量 氧 气 缺 乏 氧气被其他气提所取代: 21% 大气中的氧气浓度 19.5% 人类正常生活所需要的最低氧气浓度极限 (OSHA) 15-19.5% 工作能力下降,冠状动脉,肺部和循环系统出现先期症状 12-14% 呼吸,脉搏加快,无任何先兆的失去知觉,并失去自我救护 的能力. 氧 气 缺 乏 10-12% 呼吸,脉搏进一步加快,丧失判断能力,嘴唇发紫 8-10% 无意识,呕吐 6-8% 8 分钟死亡率100%,6分钟死亡率50%,4-5分钟尚可恢复 4% 40秒钟内昏迷,抽搐,停止呼吸,直至死亡 氧气缺乏的急救措施 “我可以尽量摒住呼吸,冲进缺氧区域,把伤员救出来. 错误: 不可以 !!!!!!! 50%这样做的人因此而丧命. 绝对不要不带呼吸器(SCBA)就冲进缺氧区域. 过高含氧量 含氧量等于或高于23.5% 燃烧特性发生改变 可燃范围增大 自燃温度下降 通常不会燃烧的物质在高氧环境会燃烧 通常会燃烧的物质在高氧环境会极易燃烧,且燃烧速度极快 含氧过高的衣服是极为危险的 与引燃点隔离 用新鲜空气吹扫30分钟 更换衣服 过高含氧量 过高含氧量 过高含氧量用压缩空气或者氮气吹扫30分钟 危险防护 氧化性危险防护 提供排风系统 正确操作气瓶 使用相容的原料 避免引燃点 确认系统经过适当的清洗 压 力 危 险 防 护 不可燃气体的危险防护 保证空气的流动,配备排风 正确的钢瓶操作流程 监测氧气浓度 配备 SCBA 不可以人单独工作 危 险 分 类 可燃性 例如 H2 SiH4 DCS NH3 可 燃 气 体 与不可燃气体相同的危险性 压力 窒息 可燃性 爆炸可能性 例如 H2,SiH4 燃烧过后的不锈钢气瓶 危 险 防 护 可燃性气体的危险防护 保证空气的流动,配备排风 正确的钢瓶操作流程 使用防爆设备 避免任何火化产生的可能 危 险 分 类 氧化性 例如: O2 NOx(如N2O) 危险性 氧化危险性 助燃 高反应性 过高含氧量 氧 化 物 普通燃料 木头 碳 燃气 燃油 氧化物燃料 铝 不锈钢 碳钢 氧 化 物 引燃点 冲击 静电 高速冲撞 其他引燃物 燃烧三角形 氧 化 性 用于氧化物系统的材料必须: 材料兼容 为氧化物作特殊清洁(Cleaned for oxidizer service) 碳氢化和污染 1/2” 316 SS tubing 未作针对氧化物的特殊清洗 碳氢化合物污染 危 险 分 类 有毒气体 例如 COCl2(光气,俗称芥子气,可能出现在本项目中设备尾气中) 有毒气体 毒性:对身体有害 中毒途径 吸入 通常途径 吸收 通过皮肤 吞食 不常见 注射 通过伤口 专业术语 有毒气体 到底有多毒?? PEL - Permissible Exposure Limit T
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