Q_SHT 05-2013裸芯粒分选机技术条件被更新.pdf

N45 备案号：B130300 N45 049-2013 Q/SHT 秦皇岛视听机械研究所 企业标 准 Q/SHT 05—2013 裸芯粒分选机技术条件 2013– 08-30发布 2013-09-01实施 秦皇岛视听机械研究所 发 布 Q/SHT 05—2013 前  言 本标准的编写符合GB/T 1.1的有关规定。 本标准由秦皇岛视听机械研究所提出。 本标准由秦皇岛视听机械研究所起草。 本标准主要起草人：杨刚、阎继华、李臣友、孟宪圆、刘烽、于梅霞、张津铭。 I Q/SHT 05—2013 裸芯粒分选机技术条件 1 范围 本标准规定了裸芯粒分选机的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和 贮存。 本标准适用于采用玻璃钝化工艺 （GPP）生产，经过划片机切割成晶粒后的晶圆裸芯粒进行检测和 分选的设备。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 191-2008 包装储运图示标志 GBn 193 出口机械、电工、仪器仪表产品包装通用技术条件 GB 2681 电工成套装置中的导线颜色 GB 2682 电工成套装置中的指示灯和按键的颜色 GB/T 3797-2005 电气控制设备 GB 5080.7 设备可靠性试验 恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案 GB 5226.1-2008 机械电气安全 机械电气设备 第一部分 通用技术条件 GB/T 7932-2003 气动系统通用技术条件 GB 18209.2-2010 机械电气安全 指示、标志和操作 第2部分:标志要求 GB/T 25480 仪器仪表运输、贮存基本环境条件及试验方法 3 术语和定义 3.1 分选机 sorting station 利用金属测试针将裸芯粒的电极与测试仪表连接，以完成裸芯粒电参数中间测试及其分类的设备。 3.2 全自动分选机 fully-automatic sorting station 具有自动补料和分类功能的多功能分选机。 3.3 吸嘴 nozzle 具有特定机械电气性能和结构尺寸的吸取裸芯粒的金属部件。 3.4 测试针 test prober 具有特定机械电气性能和结构尺寸的金属针。 1 Q/SHT 05—2013 3.5 测试针支架 test support 用以安装固定测试针的支架，可实现测试针的三维调节。 3.6 测试速度 test speed 设备测试裸芯粒 （裸芯粒长×宽应在1.27mm×1.27mm到2.5mm×2.5mm 之间）的速度。 3.7 漏吸率 miss rate 吸嘴吸取失败的裸芯粒数量与运送的裸芯粒总数的比值。 3.8 误测率 measuring error rate 分类仓中不正确的裸芯粒数与其分类仓裸芯粒数总和的比值。 4 技术要求 4.1 一般要求 4.1.1 分选机上操作规范、安全等标牌或标志应符合GB1