等离子体鞘层中尘埃粒子的分布特性!-物理学报.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 *$ ! %%’ ! ， ， ， JK3 )*$ IK ) ! L:;:0M:N %%’ （ ） !%%%/-%@%%’@*$ ! @’%-%/!% ABCA DEFGHBA GHIHBA !%%’ BO2 ) DO5P ) GK; ) ############################################################### 等离子体鞘层中尘埃粒子的分布特性! ）） ） ） ） ） ） 段 萍! 刘金远! # 宫 野! 张 宇! 刘 悦! 王晓钢! !）（大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，物理与光电工程学院，高科技研究院，大连 !!$% ） ）（大连大学物理科学与技术学院，大连 !!$$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %%’ ! %%’ $ ( 采用柱槽状电极的流体模型，数值模拟了等离子体鞘层及鞘层中尘埃粒子的分布结构 研究了尘埃粒子数、 ) 粒子大小、电极尺寸等因素对尘埃分布结构的影响) 研究表明：当等离子体密度较高时，鞘层较薄，反之鞘层较厚； 当尘埃粒子数少时，尘埃分布形成一层结构，反之则形成多层结构；随电极尺寸的不同，尘埃粒子形成一些复杂而 又有趣的结构) 关键词：尘埃粒子，等离子体鞘层，电极 ： ， ， !## **+ *%, *$* 所示) != 引 言 近年来在对尘埃等离子体的研究中，人们发现 ［— ］ ! 了许多奇特现象，如尘埃晶格的形成 、单尘埃粒 ［— ］ * ’ 子在鞘层中的非线性共振 以及尘埃晶格在磁场 ［— ］ 作用下的旋转( !% 等 在等离子体材料加工中产生 ) 图 实验室二维柱槽状电极示意图 ! 的带电尘埃粒子，会改变等离子体鞘层的结构，影响 数值模拟区域如图 所示，其中 ， 加工材料的性质，甚至对加工工件造成污染，因此研 ! ? ! ? 是模拟空间的边界，而 ， 是电 究带电尘埃在等离子体鞘层中的分布具有重要意