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* * ESD的知識與防護 摘要 l ESD現象與原理簡介 l ESD危害 l ESD防護措施 l ESD檢查 l 最后總結 l ESD應用實例 l ESD注意事項 l ESD人員著裝 l l 什么是 什么是ESD: Electro-Static Discharge Electro-Static Discharge 靜電釋放 ESD現象與原理簡介 l l 靜電（ElectroStatic)介紹 1.存在于物體表面過剩或不足的靜止或相對靜止電荷 2.處于靜止或緩慢變化的相對穩定狀態 3.靜電是一種電能 4.它是正電荷和負電荷失去平衡的結果 5.靜電廣泛存在于自然界﹑工業生產和日常生活當中 l 常見的靜電的現象: 1.大氣閃電是最具代表性的自然界靜電現象之一; 2.干燥的冬天,脫衣物時常聽到的響聲與暗處可見的火花; 3.在塑料工業中,塑料制品表面電阻率為1015~1019 W,表面 經摩擦其電位可達1KV以上,賽璐璐相互摩擦時可達40KV l ESD現象與原理簡介 l 靜電產生方式 摩擦﹑接觸﹑剝離﹑感應﹑吸附﹑電解﹑壓電﹑溫差等 都會產生靜電﹒ ESD現象與原理簡介 靜電之特點 l 高電位﹑低電量﹑小電流和作用時間短 正常操作條件下設備或人體上的靜電位可達數百至數千伏﹔但電量卻為毫微庫倫級﹔靜電電流多為微安級﹔作用時間多為微秒級﹒ R C Q0 設導體的對地電容為C,其與地之間的絕緣電阻為R,導體上的 起始帶電量為Q0, 則在任意時刻t,導體表面上的電荷Q(t)為: Q(t)=Q0e -t/RC ESD現象與原理簡介 因此﹐導體上電荷的衷減受到對地電容C和絕緣電阻R的制約 例:當對地電容為500PF 顯然降低導體的絕緣電阻是加速衷減靜電荷的有效措施 在R=1012W時,t=RC=500*10-12*1012=5*102秒 在R=105W時,t=RC=500*10-12*105=5*10-5秒 ESD的危害 C.靜電放電造成產品損坏(據統計,在失效的半導體器件中,約 45%是因靜電所造成) A.靜電放電引發火災或爆炸事故 D.靜電放電造成人體電擊(人體接近帶有靜電的物體或帶有靜電的 人體接近與地相連的導體時) B.靜電放電造成頻譜干扰 典型的靜電危害為﹕ ESD的危害 人體帶電和電擊感應程度的關系 ESD的危害 元器件類型 損坏電壓 RF-FETS 1-5V PENTIUM 5V VMOS 30V HMOS 50V MOSFET 100V GaAsFET 100V JEFT 140V CMOS 250V 電子元器件之靜電敏感度 電子產品靜電損害的特點: 1.隱蔽性 2.失效分析的復雜性 3.損傷具有潛在性 4.損傷的隨機性 ESD的危害 總的來說﹐靜電現象作為一種自然現象,不讓它產生幾乎不可能,但把它的存在控制在危險水平以下,使其造成的危害盡可能小,則是可能的,同時也是靜電防護的根本目的. 靜電消除方法 使用靜電消除器 增加濕度 使用防靜電材料 ESD防護措施 廠內的靜電消除方法: 降低摩擦速度 接地 ESD防護措施 降低摩擦速度 摩擦起電的發生源于物體間的摩擦過程,故降低摩擦速度﹐可以減少靜電的產生.（例如在撕絕緣片﹑貼片等站位） 接地 靜電接地的方式包括兩種 a. 硬接地 : 使物體直接或通過一個低阻抗跟大地相連接. b. 軟接地 : 使物體通過一個足夠高的阻抗接往大地﹐以防發 生觸電事故時把電流限制在人身安全電流 (一般 為5mA )以下.(如防靜電手環,串聯約1MW的電阻) (如機台﹑工作台上的靜電地線) ESD防護措施 使用防靜電材料 材料的靜電特性主要以其表面電阻率進行分類﹐但很多 標準規定不一,它反映了人們的認識過程﹒較權威的標準（如 MIL標準﹑