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空气阻尼加速度计 对于微机械结构中加速度的测量，一般是通过测量微机械结构电容的变化以间接的反映加速度大小的。电容的两个电极之间的空隙通常填充着空气，起到阻尼的作用。本案例采用如下的线性化的雷诺方程对加速度计进行求解： MEMS ModuleStructural MechanicsPlane StrainTransient analysis MEMS ModuleStructural MechanicsFilm DampingTransient analysis 按住Shift键，点击左侧工具栏的Rectangle/Square按钮，分别绘制两个矩形草图。 点击Zoom Extents按钮进行草图缩放。 在Multiphysics菜单下选择Plane Strains（smpn）模块，在Physics菜单下选择Subdomains 在区域设置窗口左边按住Ctrl键选择区域1和2，在右边Material标签下点击Load…按钮 在左侧材料库中找到Silicon，点击确定按钮，返回Subdomains设置窗口 点击右侧Load标签，在Fy中输入9.8*rho_smpn 点击右侧Damping标签，选择No damping 在Physics菜单下选择Boundary Settings，出现边界条件设置窗口，在窗口左侧选择1号边，窗口右侧Constraint condition选择Fixed，对1号边进行固定。 左侧栏目选择5、8号边，右侧栏目选择Load标签，在Fx和Fy右边方框中分别输入F_x_mmfd和F_y_mmfd 在Multiphysics菜单下选择Film Damping（mmfd），在Physics菜单下选择Boundary Settings，出现边界条件设置窗口。在窗口左侧选择第5、8号边，右侧dx、dy分别输入u和v。 设置阻尼耦合参数：Options Integration Coupling VariablesBoundary Variables 左侧栏目选择第5号边，右侧Name和Expression分别输入force_bot和-ny*pf*thickness_smpn 选择8号边，右侧的Name和Expression分别输入force_top和-ny*pf*thickness_smpn Solve菜单下选择Solver Parameters，在右侧时间步长设置方框中输入0:1e-5:4e-3 点击Times Stepping标签，在Times Steps taken by solver的下拉菜单中选择Intermediate * * * *