半导体洁净厂房的节能分析与对策.pptVIP

半导体洁净厂房的节能分析与对策 部门：***** 姓名：*** 时间：年月日 前言 集成电路洁净厂房的建设成本： 100级(0.3um)净化间造价在3000USD/m2。 ****厂房的运转成本： 每年消耗的水费、电费、蒸汽费、冷冻水等的费用在3000万元以上，平均每平方米12000元。 半导体洁净厂房空调系统的特点 温湿设定点恒定，控制精度高： T=23±2℃、RH=45±5% C/R的换气次数每小时在200次以上，循环风量为1460000m3/h。 新风补充量很大：90000 m3/h 以上就是造成净化间耗能巨大的原因！ ****的耗电量分布图 图1 所以我们重点从“如何降低新风处理所消耗的能源”来进行分析！ 冷冻空调系统能耗分布情况 类 别 每小时费用 所占比例 新风处理 1500元 60% 循环风处理 1000元 40% 总 计 2500元 OA OA P = 10Pa RAP t = 24 C P = 15Pa FAB t = 23 C P = 130Pa SAP t = 22.5 C RA SHAFT RA SHAFT AHU AHU 18℃ 60%RH 前工序净化间空调系统 B A D C C C/R Exhaust 净化间热负荷计算（1） 表1 状态点 A B C D 温度（℃） 22.5 23 18 24 湿度（%RH) 40 45 60 43 焓值(kJ/kg) 40 43 38 44 风量(m3/h) 146万 8.9万 8.9万 137万 净化间热负荷计算（2） 能量平衡式： QD=QA-QB+QC+q 其中： QD ：回风能量 QD =pDVDhD QA ：送风能量 QA =pAVAhA QB ：排气能量 QB =pBVBhB QC ：新风能量 QC =pCVChC q ：净化间的热负荷 将相应的数据代入上面的公式： q=221.6 USRT 净化间床下冷盘管的负荷： q1=180.0 USRT 新风提供的负荷： q2= 41.6 USRT 净化间热负荷计算（3） 如何降低新风处理所消耗的能源 优化新风的处理过程 1. 降低新风机的送风温度 2. 降低新风机的预热温度 3. 利用带热回收的新风机 降低新风补充量 1. 减少净化间的排气量 2. 降低净化间正压 新风机流程图 预热段 加湿段 喷淋段 表冷段 再热段 风机段 18℃ 60% 室外大气 1. 降低新风机的送风温度 g/kg -10 CDB 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 26 28 30 32 -5 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 kJ/kg 50%RH 75%RH 25%RH WB DP 55 60 干球温度 空气含湿量 预热 加 湿 喷淋 冷却 再热 空气焓湿图 续上页： 新风机送风温度由18℃降到15℃的节能 计算： q1” = pCVC(hC – hC‘ ) = 16.7 USRT 由于床下冷盘管的冷冻水用量与外调机再热盘管的蒸汽用量同时减少，所以总能量为16.7 × 2=33.4USRT。 2.降低新风机的预热温度 在冬季工况下，为保证外调机的预热蒸汽盘管不冻裂就要尽可能的提高预热温度。但是这样就会增加蒸汽和冷冻水的用量。 预热温度由30℃降到23 ℃时的节能情况在空气焓湿图上的表示见下页。 2. 降低新风机的预热温度 g/kg -10 CDB 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 26 28 30 32 -5 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 kJ/kg 50%RH 75%RH 25%RH WB DP 55 60 干球温度 空气含湿量 预热 加湿 喷淋 冷却 再热 空气焓湿图 3. 利用带热回收的新风机 压缩机 CFC 室外大气 18℃ 60% 降低新风的补充量 1. 减少净化间的排气量。 2. 降低净化间正压。 1. 减少净化间的排气量 排气种类 主要来源 风量 比例 一般排气 包括热排气和酸碱排气。设备发热和湿刻液槽 46000m3/h 65% 有机排气 IPA槽和光刻涂布设备、有机光刻胶剥离设备 11000m3/h 15% CVD排气 化学气相淀积工艺设备 14000m3/h 20% 续上页 如果采取措施将一部分热排气