扩散工作补充 .ppt

* * * 扩散重点 1：员工生产 2：方块电阻测试 3：换源 4: 石英制品清洗 5：工艺卫生 6: 安全 * 1.员工生产操作（图解）（暂定） 打开传递窗 → ↓ ← 一次拿一盒 扩散工作台 握笔 * 吸片 取片 插片 插片完成 ← → ↓ * 舟叉放入石英舟 石英舟外侧先翘起 搬运过程中，石英舟外侧略微翘起 搬运过程中，石英舟外侧略微翘起 → ↓ ← * 放在舟托上时，石英舟内侧先接触舟托 放稳后，取出舟叉 “工艺运行”按钮 “工艺运行登录”对话框 → ↓ ← * 选择需要运行的工艺流程 确定运行工艺流程 舟叉放入石英舟 石英舟外侧先翘起 → ↓ ← * 搬运过程中，石英舟外侧略微翘起 石英舟内侧先接触扩散工作台 放稳后，取出舟叉 用吸笔吸片 ↓ ← → * 取片 准备翻转 翻转完毕 方块电阻测试 → ↓ ← * 记录数据 卸片 硅片从片盒周边倾斜放入 硅片全部卸完后，盖上片盒，填写流程卡 → ← ↓ * 在员工生产的过程中我们工艺员需关注的几个方面： 员工的操作过程中，我们工艺员要监督，发现不规范的立即指出并督促改正。全过程做的无声操作。 关注扩散工序的碎片率，努力做到最低，能给出原因解释。 * 2.方块电阻测试（图示） * * * * 2 方块电阻测试 这里主要强调以下几个方面： 使用干净的乳胶手套等距离取6片（每舟3片）扩散面朝炉口的硅片。 为避免测试误差，边缘处的测试位置应离硅片边缘（1~2）cm，切不可在同一点上反复测量。 每4H校准一次工作电流，遇电流不稳情况，需多次效验。每班上班后由专人对每条线的四探针进行相互校准，判断每条线之间的四探针是否存在差异，如有通知质量对其进行校准。 为了减小测试值与实际值的差异，测试必须在较暗的环境下进行测试。判断方块电阻值是否在规定范围内，若合格，将硅片卸到硅片盒内，扩散面朝上放在硅片盒中。注意轻拿轻放，避免摩擦，整个过程佩带乳胶手套和口罩，经常更换，保持洁净。严禁戴着汗布手套、不戴或戴脏手套接触硅片正反表面。 * 3：换源 3.1 确认源瓶磷源的液位报警需要更换，并确定此管停止工艺。 3.2 选择气柜上相应需换源管号的控制面板，按下“RUN”按钮，使其处于“standby”模式。 * 3.3 穿好相应的安全防护用品（如：防毒面具、防酸服、乳胶手套和口罩） 3.4 小心拉开蓝色恒温箱的前半部分，注意：先打开一侧，再轻轻拿出；依次关掉源瓶的进出气手动阀门。 * 3.5小心从源瓶中拿出温度传感器，放在旁边安全位置。 * 3.6用扳手松开源瓶进出气口的蓝色聚四氟螺母，拉出白色PFA气管。 3.7 拿出空的源瓶，换上新源瓶，放在恒温箱内。 3.8 确认PFA气管内的玻璃衬套完好（否则更换新的），重新与源瓶接好，并用扳手旋紧蓝色聚四氟螺母。 3.9 注意：用扳手旋紧的力大小要适中，太大会损坏玻璃衬套；源瓶进出气接口的方向不能接反。 3.10 依次旋开源瓶出气、进气口的手动阀。准备做鼓泡试验 * 3.11 打开CMI触摸屏上相应管号的用户界面，选择“Manual/Gas/N2-POCl3/Exh/Tube/To Tube”手动操作命令，打开通向石英管的气动阀 * 3.16 选择“Manual/Gas/N2-POCl3/Volume” 手动操作命令设定流量值为100sccm。观察源瓶鼓泡情况，若30Sec内鼓泡正常，可进行下一步，若不正常，检查气路部分 。 * 3.12 在CMI用户界面上，点击“Standby”按钮，取消测试。 * 3.13 温度传感器小心放出源瓶中，并确定放到底部。 3.14 小心的把蓝色恒温箱的前半部分与后半部分对齐，放好，并整理气管，用保温棉堵塞气管缝隙。 * 3.15 再次按下气源柜上“RUN”按钮，使其处于运行状态；换源结束 * 我们应该注意的几点： 不使用的石英舟必须存放在净化柜内，待下次使用前取出按要求清洗，并按要求做饱和。 POCL3源瓶放在源瓶房的抽风橱内保存。 更换源瓶时戴好防毒面具、防酸服及乳胶手套 * * *