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拉晶工艺及操作规程 陕西西京电子科技有限公司 一、拉晶工艺流程图 说明： a)单晶制造工艺流程为方块标注环形部分，即由配料工序开始，至晶棒终止； b)配料工序的入口为库房管理部门； c)晶棒工序的出口为检验； d)在本工艺流程中，如果拉晶为连续工作时，在停炉到清炉完后, 从装料重新开始，如在按要求开炉次数后或长时间没有开炉时，要从煅烧开始； e)在本工艺流程中，如果放肩、转肩、等径过程中掉苞，根据工艺要求回熔或者取出。 二、具体操作规程 1.拆、清炉 拆清炉的目的是为了取出晶体，清除炉膛内的挥发物及杂质，清除石墨件上的附着物、石英碎片等杂质。 在拆清炉过程中必须穿戴好劳保防护用品（换工作服，戴好口罩、手套），认真阅读拉晶记录，了解上炉设备运转情况。 取出晶体 在连续生产的情况下，确定停加热5小时后，才能拆炉；拆炉时充气到正压后，打开副室门，快速提升晶体。如果晶体完全提升到副炉筒内，则闭合翻板阀,升起副炉筒，用托盘防护后，将副炉筒转出；如果晶体不能完全提升到副炉筒内，则需在喉口垫厚木板加以防护，然后才能升起副室及炉盖，连晶体一起转出；转出时注意推动的速度要均匀，以防止晶体撞到炉体 。 摆放好取晶框后，快速降下晶体，严禁使晶体接触到取晶框（会导致上轴钢丝绳因跳槽而损坏），剪断细颈后逐步释放重锤，控制好重锤的旋转和晃动，防止钢丝绳跳槽或籽晶磕碰损伤，此过程中注意个人安全防护。将取