气象传感器设计理论关键技术及其应用doc.doc

一、项目名称：气象传感器设计理论、关键技术及其应用 二、推荐单位：东南大学 三、项目简介 微机电系统（MEMS）是《国家中长期科技发展规划纲要》（2006-2020）的前沿技术方向，而气象传感器是MEMS技术在环境检测领域的主要应用之一。 气象传感器在天气预报、高速公路、船舶航行、机场、国防等方面有巨大需求，但其产业化面临关键技术难题：复杂性. 气象传感器涉及风速风向、气压、湿度等多种敏感原理，面临复杂的设计、制造、封装等问题；可靠性. 气象传感器需要长期在野外工作，面临灰尘、腐蚀等恶劣环境下工作的可靠性问题。 在国家自然科学基金和国家863计划等支持下，本项目系统地开展了气象传感器设计理论、关键技术研究，较好解决了上述技术难题，并成功应用于气象传感器研制和批量生产中。 主要技术发明如下： 1. MEMS风速风向传感器：发明了MEMS风速风向传感器的测温方法和深槽隔热结构，提出了风速风向传感器的温度自平衡测控方法，解决了长期以来风速风向传感器量程难以提高的技术难题；发明了风速风向传感器的陶瓷圆片级封装技术，保障了传感器工作的可靠性。 2. MEMS气压传感器：在国际上首次提出了基于面积变化和介电伸缩效应的MEMS电容式气压传感器结构，保证了传感器输出的线性度；发明了二氧化硅介电伸缩系数的悬臂梁测试结构，获取了介电伸缩系数基础数据；提出了带微孔滤膜的电容式气压传感器封装方法，提高了传感器环境适应性。 3. MEMS湿度传感器：发明了MEMS湿度传感器片上集成多晶硅加热电阻结构，缩短了湿度传感器的脱附时间；发明了氮化硅包覆铝电极的结构，有效防止了聚酰亚胺吸水而腐蚀铝电极，突破了湿度传感器长期工作稳定性的技术瓶颈。 4. MEMS结构可靠性：建立了MEMS器件-封装结构温度效应模型，提出了微悬臂梁接触长度的测量结构，发明了微悬臂梁疲劳特性的测量方法，实现了MEMS结构与器件的温度、湿度、振动可靠性测试和评估。 项目获中国发明专利授权55项、软件著作权1项；制订企业标准3项；应邀撰写英文丛书2章；发表论文被SCI 收录38篇（其中本领域顶级期刊JMEMS论文7篇)、SCI他引2次；国内会议大会报告2次、国际会议邀请报告3次；项目负责人被选为IEEE Fellow。包括4位院士在内的项目验收专家组评价“项目发现了二氧化硅的介电伸缩系数；发明了陶瓷芯片与集成风速风向传感器的倒装封装方法，可测风速达60m/s，是目前国际上公开报导的MEMS风速传感器的最高测量风速”。 本项目技术成果直接应用于合作企业，实现了批量生产。气象传感器全部技术指标满足国家标准并已在高速公路等领域应用，合作企业采用本项目成果近3年新增利润4911.46万元。项目成果还应用于我国大型通信骨干企业，保障了MEMS故障器件的分析和评估；应用于“蛟龙”号载人潜水器、“雪龙”号极地科学考察船、天宫一号与神州九号载人交会对接任务，有力支持了我国重大科学工程的实施。本成果推动了我国气象传感器及相关行业的技术进步，经济和社会效益显著，获中国机械工业科学技术一等奖。四、推广应用情况 五、曾获科技奖励情况 获 奖 项 目 名 称 获奖时间 奖项名称 奖励等级 授奖部门（单位） 气象传感器设计理论、关键技术及其应用 2014.10.25 中国机械工业科学技术奖 一等 中国机械工业联合会 中国机械工程学会 六、主要知识产权证明目录知识产权类别 知识产权具体名称 国家 （地区） 授权或申请号 授权日期 证书编号 权利人 发明人 授权发明专利 采用多晶硅温度二极管的集成风速计及其制造方法 中国 Z4 2004-03-10 146973 东南大学 秦明、黄庆安、张中平 授权发明专利 基于微机械加工的风速传感器 中国 ZL200410064949.4 2007-03-07 311755 东南大学 高冬晖、秦明、黄庆安 授权发明专利 温度、风速、风向和气压集成传感器 中国 ZL200510038840.8 2007-07-11 334526 东南大学 孙建波、秦明、黄庆安 授权发明专利 基于微机械技术的电容非热式流速传感器 中国 ZL200610040600.6 2008-07-16 412390 东南大学 秦明、魏泽文、黄庆安 授权发明专利 基于微机械系统的非热式流速流向传感器 中国 ZL200610040599.7 2008-07-02 407709 东南大学 魏泽文、秦明、黄庆安 授权发明专利 十字架结构的二维风速风向传感器及其制备方法 中国 ZL200710022268.5 2009-02-11 470799 东南大学 秦明、沈广平、黄庆安 授权发明专利 用于风向传感器封装的微电子机械传感器封装结构 中国 ZL200710022367.3 2009-