最新电容式传感器教学PPT.pptVIP

4.1 电容传感器工作原理和类型 二.变面积型（S） 三、变介电常数式（ε） 4.3 测量电路 一.电容传感器的等效电路 二、测量电路 2.二极管双T型电路 4.运算放大器式电路 5．调频电路 4.4 电容式传感器的应用举例 2.电容板材在线测厚仪 3.力平衡式加速度传感器 4.电容传声器原理 6.硅电容式集成传感器 6.新型电容式指纹传感器 本章要点 课堂作业 前提：K 为理想运放，a为虚地；设开环放大器输入阻抗很高，即 Ii = 0 Cx 传感器电容，C0 固定电容， 输入 输出 结论：对于单极板平板电容器传感器，输出电压U0与机械位移δ成线性关系解决了单电容的非线性关系问题。 谐振曲线 调频测量电路把电容传感器作为振荡器谐振回路的一部分，当输入被测信号使电容发生变化时，振荡器的振荡频率发生变化。 由于系统是非线性的，必须加入鉴频器将频率变化转化换为电压的变化。 调频电容传感器测量电路具有较高灵敏度 可以测至0.01 μm级位移变化量 工作过程：当两室分别承受低压PL和高压PH时，硅油能将压差传递到测量膜片 当PH=PL时，膜片处于中间位置，C1=C2； 当有差压作用时，测量膜片产生形变： PH PL时，膜片PL向弯曲，C1C2， PH PL时，膜片PH向弯曲，C1C2； 前极电路将这种电容变化通过电路转换， 变为电压或电流的变化 1.电容式压力传感器 工业生产流程自动控制中膜片式压力计是常用的一种，电容膜片压力传感器分两种： 计示压力计（表压），以大气为基准，测管道、箱内、罐中压力； 绝对压力计，以绝对真空为基准测量蒸发罐、反应罐中的压力； 传感器 基准 接大气 低压阀 高压阀 选通阀 管道 传感器 接真空 低压阀 高压阀 管道 反应罐 电容测厚仪用于测量金属带材在轧制过程中的厚度变化。 带材是电容的动极板，总电容 C1+C2 作为桥臂。 带材只是上下波动时 Cx = C1+C2总的电容量不变； 带材的厚度变化使电容 Cx 变化。 采用变压器式输出电桥电路。或用集成运放电路 输出与带材厚度关系为： 原理：先将被测量转换成力或力矩,然后用反馈力与它平衡，可测加速度、角速度、压力变量、电功率等等。 应用：主要应用于超低频、低加速度测量，是惯性导航系统中不可缺少的关键元件。 例：在导弹的惯性系统平台上，沿三个坐标安装三只力平衡系统式加速度传感器，分别测出三个轴向的加速度。通过积分器计算机求出三个轴向的速度和位移，确定运动物体在空间的坐标位置，提供各种反馈控制信号。 结构 ： M惯性元件、C1、C2位移传感器、磁力矩器、电容动片固定在质量块上。 PC机上的麦克风是一个电容传声器、主要由振动膜片、刚性极板、电源和负载电阻等组成。 计算机中一般使用的是驻极体电容传声器，它采用一种聚四氟乙烯材料作为振动膜片。 组成：压力敏感电容器、转换电路和辅助电路三部分， 敏感元件是电容压敏元件，核心部分是敏感电容器。 电容器电容量由两个电容极板面积和间距决定，极板间介质为空气，当硅膜片受力变形时电容的变化量△C与压力差△P大小有关。 硅电容式集成传感器结构 实际硅压力敏感电容传感器的工作原理是在一个硅膜上制作两个圆形电容器，电容尺寸相同，分别为受力电容、参考电容，参考电容不受外力作用，补偿温度影响。当硅膜片两侧有压差存在受力变形时，电容两极间距的变化引起电容量变化。 压差与变形量呈线性关系。扩散硅电容器的灵敏度是结构型电容传感器灵敏度的10倍。 从原理上讲硅电容器与传统的结构型压敏传感器没有区别，只是采用集成工艺制作，电容尺寸很小，可与信号处理电路集成在一起。压力敏感的电容器所传感的电容量信号经转换电路转换成电压信号，再由调理电路处理后输出。 FPS110 电容式指纹传感器和采集的指纹图象 指纹图象的获取有两类方法， 一是使用墨水和纸的传统方法； 另一种方法是利用设备取像（又分为光学设备取像、晶体传感器取像和超声波取像。 电容式指纹传感器是由著名的贝尔实验室联合Intel等公司投资几十亿美金，历经数十载才开发出来的，目前在国际晶体指纹传感器市场上占主要份额。 例如FPS110 电容式指纹传感器表面集合了300×300个电容器，其外面是绝缘表面，当手指放在上面时，由皮肤组成电容阵列的另一面，电容器的电容值由于导体间的距离而降低，这里指的是指纹脊（近）和谷（远）相对于另一极之间的距离。通过读取充放电之后的电容差值来获取指纹图像。 FPS110功能结构框图 传感器的生产采用标准CMOS工艺，尺寸大小为15×15mm2，分辨率为500DPI（一英寸面积上的像素多少，指扫描精度）。 F