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工业微弧氧化设备详解 叶仁锋 一、微弧氧化技术及简介 微弧氧化技术的前世今生： 上世纪 70 年代开始，美国、德国、前苏联因航空航天及军工方面的需求，开始研究此技术。美国的伊利诺大学和 德国的卡尔马克思工业大学等用直流或单相脉冲电源模式研究 Al 、．Ti 等阀金属火花放电沉积膜，并分别命名为阳极 火花沉积和火花放电阳极氧化。俄罗斯无机化学研究所的研究人员 1977 年发表了一篇论文，开始了此项技术的研究。 他们采用交流电源模式,使用的电压比火花放电阳极氧化高,并称之为微弧氧化(MAO) 。 世界上从事微弧氧化研究的国家主要有俄罗斯、美国、日本、德国等,其中以俄罗斯投入最大。俄罗斯在机理研究上 提出了自己一整套完整的理论，并且已成功地应用于许多工业领域,如航空、纺织、石油、交通等许多部门。在 90 年代， 俄罗斯在研究规模和水平上曾经一度占据优势。目前,俄罗斯除了基础研究和应用开发外, 已开始进行技术转让和设备输 出。美、日、德国家的参与不仅扩大了该技术在国际上的影响, 同时也促进了微弧氧化技术的工艺类型多样化、处理对 象种类的增多以及应用领域的扩大。 我国从 20 世纪 90 年代开始关注此技术,在引进吸收俄罗斯技术的基础上, 目前已从酝酿与探索阶段进入到深入研究 与应用开发阶段。国内研究此技术的单位主要有两种：一.综合大学类，主要以成膜机理、膜层性能、配方为主。如北 师大、西安理工、吉林大学、华南理工、燕山大学、南京工业大学等。其输出整套设备和技术的代表企业有：南京浩 禳、西安强微、北京金弧绿保等。另一类军工科研机构和专业研究院所，主要以膜层性能、设备先进性、工艺操作为 主。如哈工大、核工业西物院、北航材料研究院、装甲兵工程研究院等。其输出整套设备和技术的代表企业有：哈工 大中俄合作所、东莞恒核科技、北京金诺达、西安金唐等单位。 其中北京师范大学低能核物理研究所对铝合金微弧氧化陶瓷层的制备过程、能量交换、膜的形貌结构以及应用等都 做了有益的探讨。哈尔滨工业大学材料科学与工程学院用等离子增强电化学表面处理技术对铝合金表面进行陶瓷化处 理,对生成的陶瓷膜层进行研究,分析了其成膜过程和机理。核工业西南物理研究所对微弧氧化的电源特性进行了研究， 开发了双脉冲逆变直流电源，在节电和膜层工艺上进行了一定的突破，开拓了微弧氧化技术的应用前景。此外,装甲兵 工程学院、北京矿冶研究总院、青岛科技大学等单位也对该技术的设备应用进行了一定的研究。有关微弧氧化的设备 和自动化生产线及监控系统，国外研究水平整体高于国内,但都没有进入大规模的工业应用阶段。 国外微弧氧化技术研究方向主要集中在以下方面： 1)通过增加前处理、后处理对微弧氧化陶瓷层性能的继续改善，或形成复合膜； 2)研制与工业自动化生产相配套的大功率电源和自动化生产线； 3)研制与工业自动化生产相配套的在线监测检测系统； 4)优化溶液配方和工艺参数来提高电流效率、降低能耗、增加颜色等。 作者简介：（1973-）原供职于核工业某研究院，毕业于哈尔滨工业大学，曾赴俄罗斯交流微弧氧化技术。从事等离子及加速器设备研究多 年。 微弧氧化设备的采购： 做为一项新的表面处理技术，如果您的客户或公司需要进行导入该项目，那么需要的是一整套解决方案，而不是一 个电源，或者一个配方。目前国内能够完整输出微弧氧化设备、技术、工艺的厂家只有之前所述两类研究单位衍生出 来的 8、9 家公司而已。另外还有一些之前做电源、做阳极氧化设备的厂家，根据设备厂家的参数和尺寸制作，目前还 处在初级模仿阶段。 根据每家企业所掌握微弧氧化技术的不同,能够提供工业化微弧氧化设备和工艺的厂家更是少而又少。目前国内大部 分微弧氧化设备厂家和加工商还处于微弧氧化的表面处理的应用阶段。而我们作为研究微弧氧化十多年的军工背景的 设备厂家，已将致力于微弧氧化的下游拓展和铝镁钛基陶瓷复合膜新材料的应用上。如光催化网（已申请发明专利）、 铝基陶瓷板、太阳能电池基板、超声波换能片等。同时做为设备方案提供商，我们的电源、周边设备已处于国内领先 水平。东莞市恒核机电科技有限公司是一家以等离子处理技术为导向的科技型公司。其技术来源于核工业某研究所。 目前将民用生产、销售总部搬迁到东莞，同时在成都、绵阳设有工厂和电源制造基地。我公司东莞工厂提供等离子微 弧氧化生产线整套解决方案的设计、制造以及微弧氧化周边设备的设计制造销售及微弧氧化的产品加工服务