机电工程测试与信号分析_第四章_常用传感器.ppt

测量技术与信号处理  机械学院机械系 第四章 常用传感器 第一节 概述 第二节 机械式传感器（补充） 第三节 电阻式传感器 第四节 电感式传感器 第五节 电容式传感器 第六节 压电式传感器 第七节 磁电式传感器 第八节 光电式传感器 第九节 其他类型的传感器 第一节 概述（1） 什么是传感器？ 将被测物理量转换为与之相对应的，容易检测、传输或处理的信号的装置。 目前，传感器转换后的信号大多为电信号。因而从狭义上讲，传感器是把外界输入的非电信号转换成电信号的装置。 第一节 概述（1） 传感器组成 传感器一般由敏感器件与辅助器件组成。敏感器件是传感器的核心，类似人的感觉器官。它的作用是直接感受被测物理量，并对信号进行转换输出。辅助器件则是对敏感器件输出的电信号进行放大、阻抗匹配，以便于后续仪表接入。 第一节 概述（2） 分类：方法很多 按被测物理量分：位移、速度、加速度、力传感器； 按测量原理分：变电阻、变电容、变磁阻、变谐振频率等； 按工作的物理基础分：机械式、电气式、光学式、流体式等； 第一节 概述（3） 按信号变换特征：物性型、结构型； 物性型传感器是依靠敏感元件材料本身物理性质的变化来实现信号的变换的。如：水银温度计测温，利用水银的热胀冷缩现象；压电测力计利用石英晶体的压电效应等。 结构型传感器依靠传感器结构参数的变化实现信号的转换。如：电容式传感器依靠极板间距离变化引起电容量变化；电感式传感器依靠衔铁位移引起自感或互感变化。 第一节 概述（4） 按敏感元件与被测量间能量关系：能量控制型、能量转换型； 能量转换型传感器是直接由被测对象输入能量使其工作的，如：热电偶温度计、弹性压力计等。由于被测对象与传感器之间的能量传输，必然导致被测对象状态的变化，造成测量误差。 能量控制型传感器是从外部供给辅助能量使传感器工作的，并且由被测量来控制外来供给能量的变化。如：电阻应变计中电阻接于电桥上，电桥工作能源由外部供给，而由于被测量变化所引起的电阻变化控制电桥失衡程度。此外，电阻温度计、电感式测微仪、电容式测振仪均属此类。 第二节 机械式传感器（1） 被测量转换为弹性变形 典型应用有：用于测力或称重的环形测力计、弹簧秤等；用于测量流体压力的波纹膜片、波纹管等；用于测量温度的双金属片等。 第二节 机械式传感器（1） 第二节 机械式传感器（2） 近年来在自动检测、自动控制技术中广泛采用的微型探测开关也被认为是另一种形式的机械传感器。 将 物体的运动、位置或尺寸的变化，通过弹性簧片开关转换为接通、断开信号，再经过分析处理而判断出物体的有无、位置、运动状态、形状尺寸等。 第二节 机械式传感器（3） 在常态下，簧片开关处于断开状态，当与磁块（钢制工件）接近时，簧片被磁化而接合，成为接通状态，所传达信号表明物体的存在。 当用于自动线上时，可检测物体的位置和有无，也可用于自动记数。 第三节 电阻式传感器 被测量转换为电阻变化的传感器 按工作的原理可分为:变阻器式、电阻应变式、热敏式、光敏式、电敏式. 本节介绍： 一、变阻器式传感器 二、电阻应变式传感器 一、变阻器式传感器（1） 也称为电位器式传感器。 根据欧姆定律： 一、变阻器式传感器（2） 常用变阻器式传感器有直线位移型、角位移型如图4-2所示。 一、变阻器式传感器（3） 当被测量与变阻器触点位移x成某种函数关系时，若要获得与被测量成线性关系的输出，则要应用非线性型的变阻器式传感器。 传感器的骨架形状应根据所要求的输出函数确定。 如被测量 一、变阻器式传感器（4） 考虑负载效应后，传感器的输出为 一、变阻器式传感器（7） 优点：结构简单，性能稳定，使用方便。 缺点：受电阻丝直径的制约，分辨力很难优于20μm；触点和电阻丝接触表面磨损、尘埃附着等使触点在移动中产生噪声。 采用导电塑料制成的变阻器性能有所改善，多用于数控系统中。 二、电阻应变式传感器 金属电阻应变片 半导体应变片 金属电阻应变片（1） 有丝式、箔式两种。 工作原理都是基于在发生机械变形时，电阻值发生变化。 金属电阻应变片（2） 金属箔式应变片的箔栅采用光刻技术，大量生产。线条均匀，尺寸准确，阻值一致性好。其粘贴性能、散热性能均优于丝栅，允许通过较大电流。目前应用广泛。 金属电阻应变片（3） 金属电阻应变片（4） 半导体应变片（1） 其工作原理是基于半导体材料的压阻效应，即受力变形时电阻率ρ发生变化。 单晶半导体受力变形时，原子点阵排列规律发生变化，导致载流子浓度和迁移率改变，引起电阻率变化。 半导体应变片（2） 对半导体材料而言 半导体应变片（3） 优点：灵敏度高，比金属电阻应变片数值大50~70倍，机械滞后小，横向效应小，测量范围大，