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LDS2000检漏仪使用说明书
1 前言 1-1
1.1 使用本手册注意事项 1-1
1.1.1 安全符号 1-1
1.1.2 指示符 1-2
1.1.3 真空符号 1-2
1.1.4 术语定义 1-2
1.2 INFICON服务支持 1-3
1.2.1 维修中心 1-4
2 安全 2-1
2.1 正确使用 2-1
2.2 人员 2-2
2.3 使用的符号 2-3
2.4 责任和保用 2-4
2.5 一般安全准则与规定 2-4
3 技术参数 3-1
3.1 概言 3-1
3.2 环境要求 3-1
3.3 电源连接 3-2
3.4 物理参数 3-2
3.4.1 真空方法 3-3
3.4.2 吸枪方法 3-3
3.5 接口 3-4
3.6 涡轮分子泵 3-4
3.7 背压泵 3-4
3.8 时间响应 3-4
4 4-1
4.1 开箱 4-1
4.2 交货范围 4-1
4.3 仪器组件 4-2
4.3.1 电子学模件 4-4
通风 4-5
键操作开关 4-5
4.3.2 操作显示单元 4-5
4.3.3 质谱仪模件 4-7
涡轮分子泵 4-8
质谱仪 4-9
离子源 4-10
分离系统 4-10
离子收集极 4-10
静电放大器 4-10
4.4 安装 4-11
4.4.1 真空连接 4-12
4.4.2 电连接 4-14
4.4.3 连接质谱仪与电子学模件 4-15
4.4.4 设定工作模式 4-18
0-2
4.5 仪器操作 4-18
4.5.1 功能说明 4-19
4.5.2 连接选件 4-20
有泵模件的逆向气流配置(低灵敏度) 4-21
无泵模件的逆向气流配置(低灵敏度) 4-22
中间进气口配置(高灵敏度) 4-23
吸枪模式配置 4-24
5 运行 5-1
5.1 仪器接通电源 5-1
5.1.1 校准真空计 5-1
5.1.2 确定真空模式的机器因素 5-2
5.1.3 确定吸枪模式的吸枪因素 5-3
5.2 操作单元上的控制器 5-4
5.2.1 操作和显示单元 5-4
5-4
显示元件 5-5
操作单元上的控制器 5-6
配置仪器参数 5-8
5.2.2 电源开关 5-14
5.2.3 键开关 5-14
5.3 校准 5-14
5.3.1 内部校准 5-14
5.3.2 外部校准 5-16
真空和吸枪模式的常规校准 5-16
动态校准 5-18
5.4 可编程的控制通讯 5-20
5.4.1 数字输入 5-20
5.4.2 数字输出 5-21
5.5 口令; 进入层次 5-23
5.6 音频讯号 5-24
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