有机场效应晶体管气体传感器制备工艺的研究-微电子学与固体电子学专业论文.docx

目录目录中文摘要IAbstract ． ．．．．．．．．． ．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．． ． ．．．． ． ．．．．．．．．．， ． ．．． ．．．．．，．， ．．．．．．．．．．．．．． ． ．．．．．． ．．．．．．II第一章绪论11．1引言．11．2有机场效应晶体管气体传感器的研究现状．21．2．1场效应晶体管一21．2．2有机场效应晶体管国外研究进展．21。2．3有机场效应晶体管国内研究进展．51．3论文的选题及主要的研究工作6第7-t有机场效应晶体管的工作原理和制备工艺82．1有机场效应晶体管82．1．1有机场效应晶体管简介82．1．2有机场效应晶体管的工作原理82。1 3有机场效应晶体管的基本参数lo2．1．4有机场效应晶体管的制备材料的选择122．2有机场效应晶体管气体传感器．．132．2．1气体传感器常用参数．．132．2．2有机场效应晶体管气体传感器的工作原理142．3测试系统的建立142．4本章小结．16第三章有机场效应晶体管气体传感器的制备l 73．1有机场效应晶体管气体传感器的制备过程173．1．1衬底的选择173．1．2绝缘层的制备．173．1．3电极的制备17万方数据目录3．1．4有机半导体层材料的制备．223．1．5器件的封装263．2空气绝缘层结构有机场效应晶体管气体传感器的制备过程．．263．2．1衬底的选择273．2．2电极的制备．283．2．3牺牲层的制备283．2．4有源层的制备333．2．5源漏电极的制备343．2．6悬空结构的释放353．2．7器件的封装．363．3本章小结36第四章有机场效应晶体管气体传感器的电学特性以及气敏特性的研究一37 4．1有机场效应晶体管气体传感器的性能分析一374．1．1叉指电极结构CuPc场效应晶体管的电学特性研究374．1．2空气绝缘层结构CuPc场效应晶体管的电学特性研究404．2 CuPc场效应晶体管气体传感器的气敏特性研究424．2．1相同浓度N02中CuPc OFET气敏特性研究．．424．2．2不同浓度N02中空气绝缘层结构CuPc OFET气敏特性研究434．3本章小结45第五章结论．46参考文献48致谢54攻读学位期间发表论文．54独创性声明55万方数据第一章绪论第一章绪论1．1引言随着科学技术水平的飞速发展，在过去的二十年中，电子技术的发展发生了 翻天覆地的变化，生活以及生产中已经愈来愈离不开电器设备，而其中很大比例 的电器设备都需要应用传感器件，所以在现代化技术中传感器技术也在变得越来 越重要，并且在国民经济建设中有着举足轻重的位置【¨。人脑能够通过各种功能器官，如听觉、嗅觉、视觉以及触觉等对外界的各种信 息进行提取，然后再进一步对收集到的信息进行处理分析，并指导人作出相应的 行为，这种能力是人与生俱来的本能，但是这种能力不是无限的【2】。例如，人无 法通过触觉来感知几百甚至上千的温度，无法辨别温度的细小的变化，这就需要 依靠传感设备的帮助。对于计算机而言，它可能充当人类的大脑功能，而自动化 设备以及电子设备能够充当人的手脚，但是和人一样仅仅拥有这些器官还是不够 的各种感受功能，也就是传感器。传感器的种类有很多，比如说，压力传感器、磁传感器、温度传感器、湿度传 感器以及气体传感器等等[31，其中气体传感器就相当于我们人类的嗅觉器官一样， 由于人类通过嗅觉所感知的对象非常有限，所以气体传感器的优势就在于利用物 质的物理和化学特性达到感知环境中特定气体成分和浓度的变量信息的目的，再 将这些信息传递给“大脑”一一中央处理器，将感知的信息转换为可以显示或者 可以计量的电信号。气体传感器可以用于气体的检测，气体浓度的测量以及记录 和警报。按照待测气体之间相互作用的不同效应以及所使用气敏材料的不同可以将气 体传感器分为光学式气体传感器、固体电解质气体传感器、解除燃烧式气体传感 器、半导体气体传感器以及声表面波气体传感等。从世界范围来说，目前数量上 占据优势的传感器类型为半导体式气体传感器，具体占比值约为60％[41。利用半 导体材料和气体发生表面上的接触，半导体气体传感器会引起半导体材料电学性万方数据黑龙江大学硕士学位论文质发生变化，是利用电学性质对气体的浓度以及具体成分进行检测的传感器。 随着MEMS技术(Micro Electrode．Mechanical System)的发展和其在传感器领域的结合应用。晶体管气体传感器成为了研究的一个热蒯s叫。由于在物理、化学等学科理论方面的进步和完善，使半导体材料得到广泛的开发与组合。因此， 很多无机、有机材料被报道并成功应用于各种半导体器件中。其中有机半导体器 件相较于无机半导体器件具有工艺简单、制备成本低等优势，在应用中的前景更 为广阔。1．2有机场