Chapter 1(真空基本知识).pptVIP

20℃空气在不同压强下的分子平均自由程 P(Torr) λ（cm） 1 4.72×10-3 10-3 4.72 10-4 47.2 10-5 472 10-6 4720 10-9 4.72×106 三、碰撞速率与余弦散射律 1、气体分子向固体表面入射碰撞 描述气体分子热运动的重要公式： 赫兹—克努曾（Hertz-Knudsen）公式: ， υ：单位时间内，在单位面积的器壁上发生碰撞的气体分子数，称为入射频率。 n:器壁前的气体分子密度； υa : 分子的平均速度。 三、碰撞速率与余弦散射律（续） 2、气体分子从固体表面的反射 余弦散射定律（克努曾定律）： 碰撞于固体表面的稀薄气体分子，它们飞离表面的方向与原入射方向无关，并按与表面法线方向所成角度?的余弦进行分布。则一个分子在离开其表面时，处于立体角d?(与表面法线成?角)中的几率为： 余弦散射定律的重要意义 分子从表面反射与飞来方向无关这一点非常重要。它意味着可将飞来的分子看成一个分子束从一个方向飞来，亦可看成按任意方向飞来，其结果都是相同的。余弦定律(又称“克努曾定律”)的重要意义在于： (1)它揭示了固体表面对气体分子作用的另一个方面，即将分子原有的方向性彻底“消除”，均按余弦定律散射； (2)分子在固体表面要停留一定的时间，这是气体分子能够与固体进行能量交换和动量交换的先决条件，这一点有重要的实际意义。 1—3真空的获得 典型的真空系统应包括： 待抽空的容器(真空室)、获得真空的设备(真空泵)、测量真空的器具(真空计）以及必要的管道、阀门和其他附属设备。 真空泵又有前级泵和次级泵： 能使压力从一个大气压力开始变小，进行排气的泵常称为“前级泵”，另—些却只能从较低压力抽到更低压力，这些真空泵常称为“次级泵”。 真空系统的主要指标 1）极限真空 对于任何一个真空系统而言，都不可能得到绝对真空(P＝0)，而是具有一定的压强，称为极限压强(或极限真空)，这是该系统所能达到的最低压强，是真空系统能否满足镀膜需要的重要指标之一。 2）抽气速率 指在规定压强下单位时间所抽出气体的体积，它决定抽真空所需要的时间。 真空系统的指标（续） 理论上，任何一个真空系统所能达到的真空度可由下列方程确定： Pu:真空泵的极限压强(Pa)； S:泵的抽气速率(L／s)； Pi:被抽空间气体的分压强； V:真空室的体积； Q:真空室内的各种气源(Pa?L／s)； t:时间(s)。 pass 真空泵---获得真空的关键 种 类 排气原理 工作压强范围（约） 机械泵 油封机械泵(单级) 油封机械泵(双级) 分子泵 罗茨泵 利用机械力压缩和排除气体 (气体传输) 1 atm ---1 （Pa） 1 atm ---10-2 （Pa） 10-1 ---10-7 （Pa） 104--- 10-2 （Pa） 蒸汽喷射泵 水银扩散泵 油扩散泵 油喷射泵 靠蒸气喷射的动量把气体带走 1 ---10-7 （Pa） 10-1 --- 10-6 （Pa） 真空泵---获得真空的关键（续） 种 类 排气原理 工作压强（大约） 干 式 泵 溅射离子泵 钛升华泵 利用溅射或升华形成吸气、吸附排除气体 10-2 --- 10-9（Pa） 10-2 --- 10-9 （Pa） 吸附泵 冷凝泵 冷凝吸附泵 利用低温表面对气体进行物理吸附排除气体 1 atm ---10-1（Pa） 10-2 --- 10-10 （Pa） 10-2 --- 10-8（Pa） 常用真空泵的抽速范围 1-单级旋片泵 2-溅射离子泵 3-双极旋片泵 4-罗茨泵 5-扩散泵 6-分子泵 图1—4 单级旋片式机械泵的结构 图1-5旋片式机械泵工作原理 图1—6 扩散泵的结构及工作原理---利用被抽气体向蒸汽流扩散现象实现排气 常用真空泵组合 至今还没有一种泵能直接从大气一直工作到超高真空。因此，通常是将几种真空泵组合使用： 有油系统：如机械泵十扩散泵系统； 无油系统：如吸附泵十溅射离子泵十钛升华泵系统。 有、无油混合系统：机