基于光外差干涉检测激光超射波技术研究 清华大学.docVIP

目录 1 引言 1 1.1 课题背景 1 1.2 国内外发展状况 1 1.3 课题意义 3 1.4 课题内容 3 2 激光超声激励技术研究 5 2.1 超声波的性质 5 2.1.1 超声波的分类 5 2.1.2 超声波的特点 5 2.1.3 超声波的波型与声速 6 2.1.4 超声波的反射折射及波型转换 6 2.2 超声波的检测 7 2.3 激光产生超声的原理 9 2.4 Nd:YAG激光器激励超声波 10 2.4.1 Nd:YAG激光介绍 10 2.4.2 Nd:YAG激光器 10 2.5 本章小结 11 3 激光外差干涉概述 13 3.1 光电检测 13 3.1.1 系统分类 13 3.1.2 激光超声检测 16 3.2 光外差干涉测试技术 17 3.2.1 概述 17 3.2.2 光外差干涉 17 3.2.3 光外差探测系统 18 3.3 激光外差干涉测试系统 19 3.3.1 测试系统的原理 19 3.3.2 激光外差干涉测长 21 3.4 光外差检测优势 23 3.5 本章小结 24 4 光外差干涉法检测激光超声的设计和实现 25 4.1 声光调制 25 4.1.1 声光调制器原理 25 4.1.2 声光调制 27 4.2 系统设计 28 4.2.1 外差干涉系统构成 29 4.2.1 超声信号检测原理 3