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半导体式传感器 半导体式传感器 Semiconductor sensor 半导体式传感器 Semiconductor sensor 半导体式传感器是物性型传感器的典型代表。它是利用某些固体材料的机械特性、电特性、磁特性等的物性变化来实现信息的直接变换。 1 半导体式气敏传感器Gas sensitive sensor 气敏传感器是一种将检测到的气体成分和浓度转换为电信号的传感器。 气敏传感器的性能要求： 半导体式气敏传感器的分类 按材料分类： 氧化物半导体陶瓷材料作为敏感元件制作的气敏传感器。 单晶半导体器件制作的气敏传感器。 按半导体变化的物理特性分类： 电阻型：敏感元件吸附气体后电阻值随着被测气体的浓度改变来检测气体的浓度或成分。 非电阻型：利用二极管伏安特性和场效应管的阈值电压变化来检测被测气体。 产生变化发生的位置：表面电阻型和体电阻型。 电阻型半导体式气敏传感器 电阻型半导体式气敏传感器大多使用金属氧化物半导体材料作为气敏元件。 1）材料和结构 利用陶瓷工艺制成的具有半导体特性的材料，称为半导体陶瓷，简称半导瓷。 半导体式气敏传感器一般由敏感元件、加热器和外壳三部分组成。 电阻型传感器按其结构可分为：烧结型、薄膜型和厚膜型三种。 测量过程：被测气体与传感器的敏感材料接触并吸附后，传感器的电阻值将随吸附气体的数量和种类而改变。 气敏传感器的应用 1）可燃气体泄露报警器 2）防止酒后开车控制器 3）油烟检测 2 湿敏传感器Humidity sensitive sensor 主要内容 概述 湿敏电阻的类型及原理 湿敏传感器的应用 概述 湿度是指大气中所含的水蒸汽量。 （1）湿度表示法 绝对湿度：是指一定大小空间中水蒸汽的绝对含量，可用“kg/m3”表示，用符号AH表示。绝对湿度也可称为水汽浓度或水汽密度。 相对湿度：某一被测蒸汽压与相同温度下饱和蒸汽压的比值的百分数，常用%RH表示。 露点：指水从气相变为液相的相变温度，单位0C，气体中水蒸汽越少，结露温度越低。在一定压力下露点与绝对湿度是一一对应的。 概述 （2）湿敏传感器的分类 按元件输出的电学量分类：电阻式、电容式、频率式。 按其探测功能分类：相对湿度式、绝对湿度式、结露式和多功能式。 按材料分类：陶瓷式、有机高分子式、半导体式、电解质式等。 根据与水分子亲和力是否有关分类：水分子亲和力型和非水分子亲和力型。 湿敏电阻的类型及原理 （1）氯化锂湿敏电阻 氯化锂湿敏电阻是利用吸湿性盐类潮解，离子导电率发生变化而制成的测湿元件。 氯化锂湿敏电阻的阻值将随环境相对湿度的改变而变化，从而实现了对湿度的电测量。 （2）半导体陶瓷湿敏电阻 半导瓷湿敏电阻的材料，主要是不同类型的金属氧化物，分为负特性湿敏半导瓷和正特性湿敏半导瓷。 湿敏电阻的类型及原理 （2）半导体陶瓷湿敏电阻 半导瓷湿敏材料的导电机理 半导体陶瓷的湿敏原理：当水分子附着在半导体陶瓷上，使陶瓷变面层的电阻值明显下降。表面电阻下降到一定程度上，半导体体内电阻已远大于表层电阻，电流主要从表层通过，体内电阻的作用可以忽略，而由湿度引起下降了的表层电阻起着主导作用。 湿敏传感器的应用 （1）自动气象站湿度测报 （2）湿度控制电路 3 霍尔传感器Hall sensor 3 霍尔传感器Hall sensor 霍尔效应 霍尔电势 （2）测量电路 （3）误差及其补偿 不等位电势及其补偿：当磁感应强度为零，元件通以额定激励电流IH时，霍尔电极间的空载电势称为不等位电势，或者叫零位电势。 霍尔式接近开关 当磁铁的有效磁极接近、并达到动作距离时，霍尔式接近开关动作。霍尔接近开关一般还配一块钕铁硼磁铁。 霍尔式接近开关用于转速测量演示 开关型霍尔IC 附：非电阻型气敏器件 非电阻型气敏器件是利用MOS二极管的电容—电压（C-V特性）的变化，和MOS场效应晶体管（MOSFET）的阈值电压的变化等物理特性做成的半导体气敏器件。 MOS二极管气敏传感器 钯对H2的吸附引起MOS管的C-V特性曲线的平移。 * * 主要内容 1 半导体式气敏传感器 2 半导体式湿敏传感器 3 霍尔传感器 气敏半导体的导电机理可以用吸附效应来解释。 电阻型半导体式气敏传感器 典型半导瓷湿敏电阻 烧结型湿敏电阻 涂覆膜型Fe3O4湿敏电阻 应用实例： 主要内容 霍尔效应 霍尔元件结构及测量电路 霍尔式传感器的应用 霍尔电势产生的实质：运动电荷在磁场中受洛伦兹力作用的结果。 霍尔效应：将一载流导体放在磁场中，如果磁场方向与电流方向正交，则在与磁场和电流两者垂直方向上将会出现横向电势，这一现象称为霍尔效应，相应的电势称为霍尔电势。 霍尔效应Hall effect 霍尔效应Hall effect （1）霍尔元件结构 霍尔元件由霍尔效应的半导体薄片、