半导体工厂培训稿(FAC系统概述) 动力系统—简介.pptVIP

动力系统—简介 目录 一、前言 一个问题 对比图 二、动力系统的作用及组成 厂区平面图 三、各系统简介 （一）、洁净室及净化空调系统 洁净室 洁净厂房 受控粒径0.12um 洁净厂房的重要概念 洁净厂房出入路线图 洁净室安全卫生管制 保证洁净室内洁净度的措施 保证人净的措施 空气吹淋室 保证进入洁净室物料的净化 保证进入洁净室的空气是洁净的 尽量减少洁净室的产尘量 保证对洁净室内的定期清扫 洁净室运行管理制度 （二）、化学品及输送系统 工艺流程 系统说明 DAY TANK SUPPLY DILUTION SUPPLY （三）、大宗气体及输送系统 N2工艺流程 O2工艺流程 H2工艺流程 系统的组成 系统设施的组成 系统的基本要求 管道、设备布置图 （四）、特气及输送系统 简介 特气中央供气系统种类 系统的组成 设备的基本配置 1、气瓶柜/气瓶架 2、VMB/VMP 系统的基本要求 2、系统管材的要求 3、其它要求 管道、设备平面布置图 安全预防 （五）、给排水系统 给水系统 （六）、超纯水系统 什么是超纯水 超纯水水质标准 饮用纯净水水质标准 纯水系统流程 （七）、工艺冷却水系统 系统流程 系统概述 循环水箱 （八）、CDA系统 CDA系统流程图 无油空气压缩机系统流程图 冷冻除湿机 过滤器 （九）、真空系统 系统流程 HV 真空概述 （十）、废水处理系统 工艺流程 设计进水水量水质 氢氟酸废水 纯水站反冲洗水 设计出水水质 废水处理站区安全事项 （十一）、废气处理系统 洗涤塔 有机废气处理流程 立式吸附塔 酸、碱、有机废气的处理 （十二）、空调冷冻水系统 离心式冷水机组WSC126 螺杆式冷水机组PFS.390.3 泵设备 辅助设施 （十三）、空调热水系统 系统简图 （十四）、循环冷却水系统 （十五）、强电系统 10KV系统图 380V/208V系统图 系统介绍 停送电流程 （十六）、弱电系统 FMCS简介 FMCS的组成 FMCS架构图 监控室设置位置 安防系统 监控系统图 平面布置图 1#建筑安防平面图 2#建筑一层安防平面图 2#建筑二层安防平面图 3#建筑一层安防平面图 4#建筑安防平面图 （十七）、消防系统 系统流程 （十八）、空调系统 空调形式 简介结束 作用： 1、 FMCS：监控所有动力系统运行状态。 2、安防系统： ①门禁一卡通系统 主要作为安全门禁、考勤和消费一卡通使用。 ②闭路监控系统 主要用于安全防范，监控各建筑的人员进出情况， 以及洁净厂房内人员的状况。 ③周界防卫系统 主要是防止翻越围墙使用 FMCS-为Facility Monitoring Control System之缩写，为厂务设施中央监控系统之简称，一般包含电力、纯水、废水、空调、动力 、气体、化学品、洁净室等系统,本工程总共1100个监控点。 其主要特性是将各系统设施监控资料利用PLC网络或RS232 / RS422 / RS485通讯方法连接至同一监控计算机，形成一整合网络监控系统，从而达到能全面监控所有动力设备运行状态的效果。 1、纯水监控系统 2、废水监控系统 3、洁净室监控系统 4、动力监控系统 5、电力监控系统 6、化学品监控系统 7、特气监控系统 纯水系统 废水水系统 洁净室系统 动力系统 电力系统 化学品系统 特气系统 中央监控室 分控室 总约6000个监控点 总1100个监控点 总600个监控点 室外安防总图 作用： 1、将生产中产生的废气进行处理达标后排放。 酸、碱废气处理流程 卧式洗涤塔 风机 废气总管 废气支干管 1.酸性废气的产生 　　酸性废气量75000m3/h，主要来源于工艺流程中使用各种酸液对芯片的腐蚀、清洗过程，主要污染物为氟化物、硫酸雾、HCl等。 2.碱性废气的产生 　　　碱性废气15000 m3/h，主要来源于清洗、显影、去胶、湿法刻蚀、CMP等工序产生的工艺排气，主要污染物为NH3 洗涤塔设备：洗涤塔、水箱、循环泵、自动加药装置（PH控制器、电子压力计、电导度控制器） 立式吸附塔 风机 废气总管 废气支干管 有机溶剂废气的产生 　　有机废气24000 m3/h，主要是来自于光刻区、扩散区的及清洗用之异丙醇等有机溶剂废气；以及涂胶、去胶、湿法刻蚀工序剥离、光刻区、扩散区的光阻剂及清洗用有机废气，主要污染物为异丙醇等。 1.处理方法 1.1　一般废气不需要经过处理 　　 1.2　酸性废气