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(57)【要約】
【課題】記録媒体の摺接に伴う静電気の蓄積によって保
護膜に絶縁破壊が生じていた。
【解決手段】絶縁基板１上に発熱抵抗体３を設けるとと
もに該発熱抵抗体３を保護膜５で被覆してなるサーマル
ヘッドにおいて、前記保護膜５を珪素，酸素及び窒素を
含む無機質材料で形成するとともに該保護膜５の上部領
域の酸素含有比率を２～１２ｗｔ％、下部領域の酸素含
有比率を１５～２５ｗｔ％に設定したことを特徴とする
ものである。また上記保護膜５の酸素含有比率を上部領
域から下部領域に向かって漸次大きくなす。
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