纳米电子器件测试系统.docVIP

浙 江 大 学 科技创新平台 购置大型贵重精密仪器设备项目 可行性论证与审批表 设 备 名 称： 纳米电子器件测试系统 平 台 名 称： 纳米电子 经 费 来 源： 院拨 项 目 负 责 人： 恽小华 填 表 日 期： 2006-06-23 浙江大学实验室与设备管理处制 （2005年10月版） 购置大型贵重精密仪器设备项目可 行 性 论 证 与 审 批 报 告 仪器中文名称 纳米电子器件测试系统 仪器英文名称 A Set of Test System for the Nano-Electronic Devices 购置数量 1套 单价估计 人民币（万元） 美元（元） 其它 经费预算 略 可供货厂商名（中英文） 1 2 3 仪器主要功能与 应用范围 本套测试系统是以控制软件为其主控单元，集成多种测试模组以完成绝大部分的纳米电子器件的主要电性能指标的测试和验证，包括信号特性、工作频率、S参数等。 主要技术指标与 规格要求 本套测试系统建立于定制模组以及全定制的专用数据提取分析软件的基础，它主要包括： 高精度电源模组(0-35V;0-60A; 电压精度1.25mV;电流精度25mA)； 信号产生模组(频率范围250KHz-20GHz; 频率分辨率0.001Hz; 电平分辨率0.01dB)； 阻抗测试模组(频段为10MHz-20GHz; 动态范围为136dB; 频率分辨率1Hz; 精度1ppm; 功率分辨率0.01dB)； 谐波杂散分析模组(频段为9KHz-26.5GH; 分析带宽为1Hz-5MHz; 灵敏度-140dBm; 幅度分辨率0.1dB)； 增益衰减测试模组(频段为10MHz-20GHz; 动态范围为136dB; 频率分辨率1Hz)； 功率测试模组（频段10MHz-18GHz; 功率范围-30 to +44dBm; 功率精度0.02dB ）； 系统控制软件、数据提取分析软件，并须由厂家提供现场安装调试服务。 一.申请理由（请说明1、购置本设备的必要性；2,能利用该设备的学科；3、本校是否有同类设备，能否共享；4、如果本校已有该类设备，说明这些设备的工作情况；5、国内外供货商以及相关设备的比较） 1、购置本设备的必要性 该设备可完成绝大部分的纳米量级、以纳米材料为载体及纳米电子器件的主要电性能的测试，可对自行设计的纳米电子器件的性能进行验证，反之指导纳米半导体电路的设计和仿真。 2、能利用该设备的学科 电磁场与微波技术、微电子学、电路与系统等学科。 3、本校是否有同类设备，能否共享 本校暂未有该套纳米电子器件测试系统。 二. 预计使用效率以及技术经济效益及风险预测（包括有效机时/年，服务对象，教学、科研、服务成果等） 该套测试系统预计每年工作累计达8个月，服务对象为全校相关学科的教师、科研人员和研究生，用于相关学科的教学、研究，增强浙江大学纳米电子器件的教学和科研水平，使得浙江大学在纳米电子器件研究领域处于国内领先、达到国际先进水平，真正促进学校的跨越式发展，建成世界一流大学，使全校师生多出高水平成果、快出高水平成果，达到显著的社会和经济效益。 三.使用维护技术力量（包括管理责任人、操作人员、维修保养人员的落实、能力水平及是否需要接受专门技术培训等） 管理责任人、操作人员、维修保养人员已基本落实到位，这些研究人员均为相关学科的专家，熟悉相关模组的知识和操作，但因整套系统的操作受控于专用系统控制软件和数据提取、分析软件，故对该系统这类相关部分进行技术培训即可。  购置提议人 购置附议人1 购置附议人2 购置附议人3 购置附议人4 姓 名 韩希 恽小华 隋文泉 孙琳琳 赵凌云 职 称 高工 教授 教授 助研 教授 方 向 电子工程 电磁场与微波技术 电磁场与微波技术 集成电路设计 纳米技术 签 名 研究方向意见： 该套综合测试系统可完成绝大部分的纳米电子器件的主要电性能指标的测试和验证，具备很高的测试精度和完整的测试能力，并将对纳米集成电路的设计和仿真起到指导作用，建议购置。 负责人： 200 年 月 日 科技创新平台意见： 负责人： 200 年 月 日 审 批 意 见 实验室与设备管理处意见：