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第9章 电子光学基础 电子波与电磁透镜 电磁透镜的像差和分辨本领 电磁透镜的景深和焦长 电镜的发展历史 1924年，德布罗意计算出电子波的波长 1926年，布施发现轴对称非均匀磁场能使电子波聚焦 1932～1933年间，德国的劳尔和鲁斯卡等研制成功世界上第一台电子显微镜 1939年，德国的西门子公司生产出分辨本领优于10nm的商品电子显微镜 一、光学显微镜的分辨率 极限 由于衍射效应，物点在像平面上形成Airy斑。 对于光学透镜，当n?sinα做到最大时（n≈1.5，α≈70-75°），简化为： 如何提高显微镜的分辨率？ 降低照明光源的波长。 顺着电磁波谱朝短波长方向寻找，紫外光的波长在13-390nm之间，比可见光短多了。 大多数物质都强烈地吸收紫外光，因此紫外光难以作为照明光源。 更短的波长是X射线。 迄今为止还没有找到能使X射线改变方向、发生折射和聚焦成象的物质，也就是说还没有X射线的透镜存在。 除了电磁波谱外，在物质波中，电子波不仅具有短波长，而且存在使之发生折射聚焦的物质。所以电子波可以作为照明光源，由此形成电子显微镜。 二、电子波长 不同加速电压下的电子波波长P134 加速电压U/KV 电子波波长λ/nm 加速电压U/KV 电子波波长λ/nm 三、电磁透镜 电子波和光波不同，不能通过玻璃透镜会聚成像。 但是轴对称的非均匀电场和磁场则