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四探针技术测量薄层电阻的原理及应用! 四探针技术测量薄层电阻的原理及应用 刘新福，孙以材，刘东升（河北工业大学微电子技术研究所，天津 300130） 摘要：对四探针技术测试薄层电阻的原理进行了综述，重点分析了常规直线四探针法、改进范德堡法和斜置式方形Rymaszewski 法的测试原理，并应用斜置式Rymaszewski 法研制成新型的四探针测试仪，利用该仪器对样品进行了微区（300μm×300μm）薄层电阻测量，做出了样品的电阻率等值线图，为提高晶锭的质量提供了重要参考。 关键词：四探针技术；薄层电阻；测试技术 中图分类号：TN304.07 文献标识码：A 文章编号：1003-3