有机薄膜衬底ＩＴＯ透明导电膜的制备及光电特性的研究.docVIP

有机薄膜衬底ＩＴＯ透明导电膜的制备及光电特性的研究 文? 摘：采用真空反应蒸发技术，在有机薄膜基片上制备出高质量的ITO透明导电薄膜，对薄膜的结构和光电特性进行了研究。制备的最佳薄膜在可见光范围的平均透过率达84％，电阻率为8.23×10－４Ωｃｍ，载流子浓度为1.72×1020cm－3。关键词：ITO薄膜，透过率，电阻率０? 引? 言??? 锡掺杂的氧化铟（ITO）透明导电膜是一种重要的光电信息材料，优良的光电特性使其在太阳电池、液晶显示器、热反射镜等领域得到广泛的应用。以玻璃为衬底的ITO透明导电膜已进行过广泛深入的研究〔１－４〕。近年来，有机薄膜基片ITO透明导电膜以其