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第26卷 第3期 材料科学与工程学报 总第113期
V01．26No．3 ofMaterialsScience8L
Journal Engineering Jun．2008
文章编号2008)03—0449—04
太阳能多晶硅锭中夹杂的物相与分布特性
邓太平。毛文行，尹传强，刘兵发，杜国平，周 浪
(南昌大学材料科学与工程学院／NCU—I，DK太阳能研究中心．江西南昌330031)
【摘要】多晶硅锭中经常出现硬质夹杂颗粒，严重影响线切割硅片的表面质量，严重时造成硅片切割生产
中断线。我们采用光学显微镜、扫描电镜特征X射线能谱仪、X射线衍射仪等手段对定向凝固多晶硅锭中的夹杂
进行了分析。采用溶解硅基体后沉淀萃取的方法取得硅锭不同部位的夹杂。分析结果表明，硅锭中夹杂的物相主
要有两种：pSiC和pSi3N。，SiC的数量较多；二者形貌有显著区别：前者呈不规则块状，而后者则呈平直杆状。硅
锭的顶表面附近夹杂高度富集，但内部仍偶有大于100微米的较大的碳化硅夹杂颗粒出现。
【关键词】太阳能；多晶硅；夹杂
中图分类号：TM914．4 文献标识码：A
PhaseandDistributionofInclusionsin
Multi··crystalline
for
Silicon SolarWafers
Ingot
DENG
Tai—ping，MAOWeng-hang，YINChuan—qiang，
LIU
Bin-fa，DU
Guo-ping，ZHoULang
(SchoolofMaterialsScienceand Solar Research
Engineering／NCU-LDKEnergy
330031，China)
Center，NanchangUniversity，Nanchang
[Abstract]Inclusionaffectsurface of siliconwafers，andthreatenthewire
particlesseverely qualitymulti—crystalline
ofthewafer from silicon causewirebrokeninthe
cuttingprocess productionmulti—crystallineingot．Becausetheymay cutting
electron associatedwith forcharacteristic
processes．Scanningmicroscope energyspectrometer X-ray，3Ddigitalmicroscope
and diffractionhavebeenusedto theinclusionsina
X-ray analyze directionallysolidified silicon
multi—cry
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