带电粒子束分析器.PDF

带电粒子束分析器 西安交通大学 康永锋 提纲 电子光学 第4单元 P.3 1）色散概念 Ø在德布鲁意波中，粒子的波长由动量决定。 rf (r ,)i Ø与光学中不同波长 （颜色）的光因折射率不同导致的空间分散类似，在带电粒 子光学中,色散的含义是：因粒子动量不同带来的电子光学折射率的差异，导致 带电粒子束中不同动量粒子的空间上的分离。 Ø能量和质量的不同，均导致动量的变化。因此利用色散现象可以分析带电粒子 的动量、能量、速度和质量 （荷质比）。 电子光学 第4单元 P.4 1）色散概念 u在讨论扫描磁偏转系统的偏转性能时，我们已经得出，磁偏转位移与带电粒子 的加速电位及荷质比有关。 rf (r ,)i u即是说，对于同一类型的带电粒子，偏转位移随粒子的动能或速度而变化；而 在带电粒子具有同样的加速电位或能量时，偏转位移还取决于粒子的荷质比或质 量。 （因为带电粒子的电荷均为基本电荷的整数倍，根据荷质比可以对粒子的质 量和类别做出判断。） u偏转位移随粒子的能量或质量变化的现象，称为带电粒子束偏转系统的色散。 u推而广之, 除了偏转以外, 利用其它原理构成的分析器, 带电粒子因动量、能 量或质量变化而导致的空间 （时间）上的分离的现象，均称为色散。 电子光学 第4单元 P.5 1）色散概念 u显然，利用磁偏转器的色散可以用来分选或分离束中不同能量或质量的带电粒 子；或者可以将偏转器视为一种分析器，用来分析粒子束的能谱或质谱组成。 rf (r ,)i u现在，已研究发展出了很多类型的偏转色散型分析器，其中理论分析最为系统 完整，应用也最为广泛的是扇形磁场偏转分析器。 u （固定偏转角的）扇形磁场偏转器已广泛地应用于加速器和各种离子束装置的 粒子束导向偏转器、同位素分离装置与离子束注入装置的不同质量粒子分选元件、 各种化学分析用质谱仪和高能粒子谱仪、以及表面分析与微分析技术中的各种电 子能谱仪中。 电子光学 第4单元 P.5 2）色散系统的聚焦性能和分辨率 u为了对分选的粒子进行有效的收集，色散系统必须同时具有聚焦作用。 u物平面图像→聚焦成像＋色散→具有位移的像平面图像 rf (r ,)i u色散 （位移）量：定义为动量的相对变化 δp （能量变化、速度变化、质量变 化）导致的聚焦像点的位移S。对于电子光学的色散，其中以动量变化为基础： p 2emU, E eU 电子光学 第4单元 P.7 2）色散系统的聚焦性能和分辨率 像平面上：色散量 p S D p0 D称为色散系数 束斑半径  2  2  R Mr   ab 0 临界分辨情形，色散位移与束斑半径相等： S R 故此，极限的动量分辨率为 p  2  2 