第六章 电感式传感器090507.pptVIP

西安工业大学机电学院 4.3 电感式传感器 电感式传感器是基于电磁感应原理，它是把被测量（位移、压力等）转化为电感量，再由测量电路转换为电压或电流变化量输出的一种装置。 电感式传感器 自感型 可变磁阻型 涡流式 互感型 4.3.1 可变磁阻式传感器 1)原理:电磁感应原理 W:线圈匝数 Rm:磁路总磁阻 当空气隙δ很小，总磁阻等于 L1，L2:铁心、衔铁导磁长度 μ1, μ2 ：铁心、衔铁磁导率 A1,A2:铁心、衔铁导磁截面积 μ0：空气磁导率 A0:空气隙导磁截面积 线圈 铁心 衔铁 δ 图1 故自感： 用电感式传感器测位移，则 ①变气隙型： 灵敏度： 灵敏度随δ而变化，有非线性误差，故通常规定在较小间隙范围内工作。 适用于较小位移的测量：0.001~1mm 2)分类： 变气隙型 δ ②变气隙截面式： 可知，输出为线性。 由 图3 螺管式：在螺管线圈内插入铁芯，铁芯上下移动时磁阻发生变化. 制造简单，适用于较大位移测量（数毫米以上），但灵敏度较低。 图4 ④实用差动式自感传感器 一般实用的自感式传感器采用差动式的，其输出特性大为改善。以变气隙式为例： 衔铁位于气隙中间时，L1=L2=L，LS=L1-L2=0。 当衔铁偏离中间位置时， L1=L+dL，L2=L-dL 两个电感量一个增加，一个减小，形成差动式。总的电感变化量：LS=L1-L2=2dL 图5 其灵敏度 差动变气隙型 δ δ 双螺管线圈差动型 要求两个导磁体的几何尺寸及材料完全相同，两个线圈的电气参数和几何尺寸完全相同。 差动式有差动变气隙，差动变面积，差动螺管式等 图7 变间隙型灵敏度较高,用于较小位移测量，0.001-1mm,但非线性误差较大,且制作装配比较困难。 特点： 变面积型灵敏度较前者小,测量范围稍大，但线性较好,使用比较广泛。 螺管型灵敏度较低,但量程大（1－2米以上）且结构简单易于制作和批量生产,是使用最广泛的一种电感式传感器。 3）测量电路 电感式传感器的测量电路有交流电桥式、 交流变压器式以及谐振式等几种形式。 交流电桥 正半周,阻抗L1 ，U01(+) 向上运动时： R R + _ Uo L2 L1 + _ E U01 + _ + U02 阻抗L2 ，U02(－) Uo为负 负半周,阻抗L1 ，U01(－) 阻抗L2 ，U02(＋) Uo为正 上移时输出端信号 交流电桥的输出电压与传感器线圈电感的相对变化量是成正比的。虽然输出电压反映了传感器线圈阻抗的变化，由于是交流信号，还要经过适当电路处理才能判别衔铁位移的方向 正半周,阻抗L1 ，U01(+) 向下运动时： R R + _ Uo L2 L1 + _ E U01 + _ + U02 阻抗L2 ，U02(－) Uo为正 负半周,阻抗L1 ，U01(－) 阻抗L2 ，U02(＋) Uo为负 下移时输出端信号 R R + _ Uo +ΔL -ΔL 差动电感型相敏整流 参考端信号 +ΔL时输出端信号 -ΔL时输出端信号 采用带相敏整流的交流电桥，输出信号既能反映位移大小又能反映位移的方向。 电感测微仪 探头 测量 电桥 交流 放大 相敏 检波 指示器 振荡器 4）变磁阻式传感器的应用  变隙电感式压力传感器： 膜盒、 铁芯、 衔铁及线圈等组成, 衔铁与膜盒的上端连在一起。 图11 变隙式差动电感压力传感器： 图12 主要由C形弹簧管、 衔铁、铁芯和 线圈等组成。 i δ H1 H2 i1 1）原理:利用金属体在交变磁场中的涡电流效应 4.3.2 电涡流式传感器 原线圈的等效阻抗Z变化： 图22 ① 电涡流径向形成的范围大约在传感器线圈外径的1.8～2.5 倍范围内, 且分布不均匀。 ②当利用电涡流式传感器测量位移时, 只有在距离/平均半径(一般取 0.05～0.15)的范围才能得到较好的线性和较高的灵敏度。 ③ 电涡强度与距离x呈非线性关系, 且随着x的增加而迅速减小。 ④由于集肤效应, 电涡流沿金属导体纵向的分布是不均匀的, 其分布按指数规律衰减。 2）基本特性 ①高频反射式 3）分类：按照电涡流在导体内的贯穿情况，分为 采用低频激励，因而有较大的贯穿深度，适合于测量金属材料的厚度。检测范围达1－100mm，分辨率达0.1μm. ②低频透射式 4) 电涡流传感器的转换电路 电涡流传感器转换电路的作用就是将Z、L转换为电压或电流的变化。阻抗Z的转换电路一般用电桥，电感L的转换电路一般用谐振电路，又可以分为调幅法和调频法两种。 1. 交流电桥 将传感器线圈的阻抗变化转化为电压或电流的变化。图中L1 、L2是两个差动传感器线圈，它们与电容C1 、C2的并联阻抗Z1 、Z2作为电桥