9 Silvaco TCAD器件仿真模块及器件仿真流程.pptVIP

Page ? * 主要内容 第一部分 器件仿真模块 第二部分 器件仿真流程 第三部分 总结 Page ? * 1 器件仿真模块 第一部分 器件仿真模块 第二部分 器件仿真流程 第三部分 总结 1.1.1 器件仿真特性 仿真半导体器件的电学、光学和热学行为 分析二维或三维器件的DC、AC和时域响应，光—电、电—光转换等特性 接口丰富： ATHENA、SSUPREM3工艺仿真器输入 DevEdit器件编辑器输入 UTMOST III接口可以对器件参数进行提取和对器件建模 丰富的仿真模块（…） Page ? * 1.1.2 全面的物理模型 DC, AC small-signal, and full time-dependency Drift-diffusion transport models Energy balance and Hydrodynamic transport models Lattice heating and heatsinks Graded and abrupt heterojunctions Optoelectronic interactions with general ray tracing Amorphous and polycrystalline materials General circuit environments Stimulated emiss