测控仪器课程设计--机械式微位移机构及位移检测.docVIP

测控仪器课程设计 题目：机械式微位移机构及位移检测 课程设计说明书 一、设计目的 本次课程设计主要是通过机械微位移机构及位移检测这一课题的设计与研究加强对以往所学精密机械设计、单片机原理及接口技术、传感器原理、测控电路、画法几何及机械制图等课程的理解和实际应用。 设计思路 本次课程设计采用的是平行片簧导轨－步进电动机及机械式位移缩小机构驱动中的弹性变形传动式微位移机构（机构图见大图），利用两个弹簧的刚度比而缩小输入位移的机构，这种微位移机构用平行片簧导轨，无间隙、无摩擦。驱动采用步进电动机，控制灵活而又方便。 此机构是通过步进电动机的转动带动丝杠旋转，通过丝杠旋转驱动一个小型的摩擦滑动导轨的动导轨产生运动，在动导轨运动时压缩弹簧从而由弹簧弹力驱动钢珠滚动导轨运动，在导轨的另一端有一弹簧受到导轨的压缩，这样导轨两端的弹簧彼此作用实现机构的微位移。 丝杠及弹性缩小工作台微位移机构一般要求具有0.05μm的分辨力，所以，此机构的微位移检测中如此高的分辨力必须要求采用具有与之相应分辨力和精度的传感器。非接触式传感器较接触式传感器准确度更高，所以考虑使用非接触式的传感器，而非接触式传感器中，电容或电感式传感器基本很难满足0.05μm分辨力的要求，所以考虑采用光栅式位移传感器，此类传感器即使不能满足分辨力要求，也可以通过微机或电路将信号作细分而获得设计所要求的分辨力。将光栅传感器输出的