半导体传感器 传感器技术与应用 广东工业大学.ppt

第8章 半导体传感器 8.1 气敏传感器 8.1 气敏传感器 ● 介绍气敏传感器的概念，种类； 表8.1半导体气敏传感器的分类 五、气敏传感器应满足下列要求： 具有小的交叉灵敏度； 具有较高的灵敏度和较宽动态响应范围 性能稳定，传感器特性不随环境温度﹑湿度的变化而发生变化 ； 重复性好，易于维护等。 电阻型半导体气敏传感器工作机理可以用吸附效应来解释 气体接触N型半导体时所导致的敏感器件阻值变化的情况，如图所示； ▲ 敏感元件固有电阻Ro和工作电阻Rs SA/B-传感器对A气体的选择性系数； KA-传感器在单纯A气体中的灵敏度 ； KB-气体传感器在单纯B气体中的灵敏度。 半导体气敏传感器结构分为烧结型、薄膜型和厚膜型 2 薄膜型气敏传感器结构 3 厚膜型气敏传感器 ★ 上述三种气敏传感器的共同之处是皆附有加热 丝，加热的方式有直热式和旁热式 ★ 气敏传感器电阻变化率与气体浓度变化关系 ★ SnO2半导体气敏传感器温度特性 非电阻型半导体气敏传感器的结构 等效电路函数关系曲线 8.2 湿敏传感器 ★ 绝对湿度：单位空气里所含水蒸气质量 定义式为 Mv为待测； V为待测空气的总体积； 为待测空气的绝对湿度其单位为 或 8.2 湿敏传感器 ★ 相对湿度---- 空气中所含水蒸气分压和在相同温度下饱和水 蒸气分压之比 ☆ 湿度量程:在规定的精度内能够测量的最大范围 ☆ 感湿特性:表示感湿特征量（电阻）随被测相对湿度 变化的规律。 ▲ 湿度温度系数 感湿待性曲线随环境温度变化而改变的特性参数 ,其定义如下: Ｔ——绝对温度； Ｋ—感湿特征量； -一湿度温度系数， 其单位为％RH／ ◆ 响应时间 在规定的环境温度下，由起始相对湿度达到稳定相对湿度时，感湿特征量由起始值变化到稳定相对湿度对应值所需要的时间。 ◆ 湿滞回线和湿滞回差 传感器的吸湿特性曲线与脱湿特性曲线不一致而形成回线 半导体陶瓷湿敏电阻的负湿敏特性 (2) 正湿敏特性的半导体陶瓷导电机理 半导体陶瓷湿敏元件的正湿敏特性, 2 常用半导体湿敏元件 （1）烧结型半导体陶瓷湿敏电阻 半导体陶瓷湿敏传感器结构及等效电路示意图, （2）涂覆膜型Fe3O4湿敏元件 ,由金属氧化 物微粒经过堆积、粘结而成的材料; （3）ZnO-Cr2O3陶瓷湿敏元件,结构是将多孔材料的电极烧结在多孔陶瓷圆片的两表面上，并焊上铂引线，然后将敏感元件装在有网眼过滤的方形塑料盒中并用树脂固定 8.3 磁敏传感器 ● 磁阻效应 8.3 磁敏传感器 电阻相对变化为 磁敏电阻的形状 电阻率的相对变化与磁感应强度和电子迁移率的关系可近似用下式表示 磁敏电阻的形状 磁敏电阻形状如图所示 磁阻与磁感应强度及几何尺寸的关系 磁敏电阻特性 在低磁场范围内，其电阻值与磁场强度的平方成正比关系. 1 结构 磁敏二极管(SMD)的结构 2 工作原理 2 工作原理 2 工作原理 3 磁敏二极管的主要特性 3 磁敏二极管的主要特性 (3) 灵敏度 (4) 温度特性 （5）磁敏二极管特点 8.3.3 磁敏三极管 8.4.1 半导体色敏传感器基本原理 价带电子吸收光子而从价带跃迁到导带,从而使光在半导体中传播时衰减.这种吸收光子的过程称为本征吸收 ,其特性曲线如图8.23所示; 光电器件常用量子效率来表征光生电子流与入射光子流的比值大小 理论证明，P区在不同结深时，其量子效率随波长而变化，特性曲线如图 Xj表示P结的深度 1.双色硅色敏器件工作原理 双色硅色敏器件的结构与其其等效电路如图8.25所示 利用不同结深的二极管的组合，就可构成测量特定波长的半导体色敏传感器 具体使用时，要对该色敏器件进行标定, 测定比值 如图8.26给出了不同结深色敏二极管的光谱响应曲线 2.三色硅色敏器件的工作原理 对于多波长组成的混合色光，特别是印刷物或颜料的颜色识别，必须用三色硅色敏器件 .如图8.27为一种全色色敏器件的结构示意图; 图8.27 全色色敏器件结构示意图 1 光谱特性 2 短路电流比—波长特性 8.5 半导体传感器的应用 气敏传感器可用于检测环境中某特定气体(特别是可燃气体)的成