电子工厂_晶圆厂_TFT_厂_面板厂__厂务系统概述.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 厂务系统概述 0.电子厂名言 0.电子厂名言 唯一的不变就是永远在变 唯一确定的就是还没决定 所以~接下来介绍的在现场都不是绝对的~ 1.厂务系统功能 1.1水系统在制程中的功能 PCW 制程冷却水 制程机台冷却 UPW/DIW 超纯水 补水/清洗/稀释 Chill Water 冰水 冷却用冷源/空调用冰水 RW 回收水 DI回收/冷凝回收/再生使用 CW 自来水 原水/一般用水 1.2气体系统在制程中的功能 CDA 压缩干燥空气 搬运器/仪器之气压缸/一般冲吹 GN2 一般氮气 Purge/CDA Backup/洁净冲吹 PN2 纯化氮气 Purge/空间填充/超洁净冲吹 其他B-GAS 大宗气体 制程需求/Purge/空间填充/超洁净冲吹 S-GAS 特殊气体 制程Chamber填充需求/干蚀刻制程需求 1.3化学系统在制程中的功能 Chemical 化学药品 清洁清洗/湿式蚀刻制程需求 1.4真空系统在制程中的功能 PV 制程真空 基板吸引般移 HV 清洁真空 尘屑吸引清洁/真空吸笔 Pump Line 制程高真空 Chamber制程转换之高真空建立 Exhaust 排气系统 Chamber制程转换之废气排除 Drain 排水系统 机台制程使用